[發(fā)明專利]真空密封裝置及包含其的真空操縱系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710375152.3
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN108928620B
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發(fā)明（設計）人: 金浩;劉仁杰
• 申請（專利權）人: 上海凱世通半導體股份有限公司
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 薛琦;曾鶯華

1.一種真空密封裝置，其特征在于，所述真空密封裝置包括：

箱體，所述箱體設有真空腔和若干驅(qū)動孔，所述驅(qū)動孔與所述真空腔連通；

驅(qū)動部件，所述驅(qū)動部件穿設于所述驅(qū)動孔，且所述驅(qū)動部件的兩端分別位于所述真空腔內(nèi)和所述箱體外；

波紋管，所述波紋管用于密封所述驅(qū)動部件和所述驅(qū)動孔之間的間隙；

所述箱體包括：

主體框架，所述主體框架設有第一真空腔和開口，所述開口與所述第一真空腔連通；

操縱器軀干，所述操縱器軀干對應于所述開口設置，且所述操縱器軀干密封連接于所述主體框架，所述操縱器軀干設有第二真空腔；

其中，所述第二真空腔與所述第一真空腔連通并形成所述真空腔，所述驅(qū)動孔設于所述操縱器軀干；

所述波紋管對應于所述驅(qū)動部件設置，且所述波紋管的一端密封連接于所述箱體的外壁，所述波紋管的另一端與所述驅(qū)動部件連接，所述驅(qū)動部件穿設于所述波紋管；

所述驅(qū)動部件包括第一驅(qū)動部件和第二驅(qū)動部件，所述第一驅(qū)動部件的移動方向和第二驅(qū)動部件的移動方向設有夾角；

所述第一驅(qū)動部件包括一驅(qū)動臂，所述驅(qū)動臂為L形；

所述驅(qū)動臂包括驅(qū)動桿和驅(qū)動連接桿，所述驅(qū)動桿的一端與所述波紋管連接，所述驅(qū)動桿的中心軸線與所述第一驅(qū)動部件的移動方向平行，所述驅(qū)動連接桿的中心軸線垂直于所述驅(qū)動桿的中心軸線，且所述驅(qū)動連接桿的一端套設于所述驅(qū)動桿的另一端。

2.如權利要求1所述的真空密封裝置，其特征在于，所述操縱器軀干可拆卸地連接于所述主體框架。

3.如權利要求1所述的真空密封裝置，其特征在于，所述夾角為90度。

4.如權利要求1所述的真空密封裝置，其特征在于，所述驅(qū)動桿套設有萬向節(jié)，所述萬向節(jié)用于保持所述驅(qū)動桿的移動方向。

5.一種真空操縱系統(tǒng)，其特征在于，所述真空操縱系統(tǒng)包括如權利要求1-4中任意一項所述的真空密封裝置。