[發(fā)明專利]三軸硅微加速度計(jì)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710372866.9 | 申請(qǐng)日： | 2017-05-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107037238A | 公開（公告）日： | 2017-08-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉云峰;陶永康;夏澎波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 清華大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01P15/125 | 分類號(hào)： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京華進(jìn)京聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11606 | 代理人： | 哈達(dá) |
| 地址： | 100084*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 三軸硅微 加速度計(jì) | ||
1.一種三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，包括第一敏感組件與第二敏感組件；
所述第一敏感組件包括第一敏感單元與第二敏感單元，所述第一敏感單元的敏感方向與所述第二敏感單元的敏感方向正交設(shè)置；
所述第二敏感組件包括第三敏感單元與第四敏感單元，所述第三敏感單元的敏感方向與第四敏感單元的敏感方向正交設(shè)置；
所述第一敏感組件與所述第二敏感組件垂直正交設(shè)置，敏感X、Y、Z方向加速度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，還包括殼體，所述殼體與所述第一敏感組件與第二敏感組件相匹配，用于固定支撐所述第一敏感組件與第二敏感組件的正交結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，所述敏感單元包括梳齒式差動(dòng)電容結(jié)構(gòu)，所述梳齒式差動(dòng)電容結(jié)構(gòu)包括動(dòng)齒與定齒，所述動(dòng)齒與定齒交錯(cuò)間隔設(shè)置，所述動(dòng)齒設(shè)置于兩個(gè)所述定齒之間，且所述動(dòng)齒相對(duì)于相鄰的兩個(gè)定齒偏置設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，所述敏感單元包括質(zhì)量塊，所述質(zhì)量塊與所述動(dòng)齒連接，用于帶動(dòng)所述動(dòng)齒運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，還包括檢測(cè)電路，所述檢測(cè)電路分別與第一敏感組件與第二敏感組件電連接，用于檢測(cè)所述第一敏感組件與第二敏感組件的電容變化。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，所述檢測(cè)電路包括激勵(lì)信號(hào)發(fā)生電路、電容檢測(cè)電路與信號(hào)放大調(diào)理電路；
所述激勵(lì)信號(hào)發(fā)生電路與所述電容檢測(cè)電路電連接，用于為所述電容檢測(cè)電路提供激勵(lì)信號(hào)；
所述電容檢測(cè)電路用于檢測(cè)所述第一敏感組件與第二敏感組件電容變化，輸出電容變化信號(hào)；
所述信號(hào)放大調(diào)理電路與所述電容檢測(cè)電路電連接，用于對(duì)所述電容檢測(cè)電路輸出的電容變化信號(hào)放大并進(jìn)行濾波處理。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，所述電容檢測(cè)電路包括第一電容檢測(cè)電路與第二電容檢測(cè)電路，所述第一電容檢測(cè)電路用于檢測(cè)所述第一敏感組件電容變化，所述第二電容檢測(cè)電路用于檢測(cè)所述第二敏感組件電容變化。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，所述信號(hào)放大調(diào)理電路包括第一信號(hào)放大調(diào)理電路與第二信號(hào)放大調(diào)理電路，所述第一信號(hào)放大調(diào)理電路用于對(duì)所述第一電容檢測(cè)電路輸出的電容變化信號(hào)放大并進(jìn)行濾波處理，所述第二信號(hào)放大調(diào)理電路用于對(duì)所述第二電容檢測(cè)電路輸出的電容變化信號(hào)放大并進(jìn)行濾波處理。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，所述檢測(cè)電路還包括溫度檢測(cè)電路，所述溫度檢測(cè)電路用于檢測(cè)溫度變化。
10.一種三軸硅微加速度計(jì)，其特征在于，包括：
第一敏感組件，包括正交設(shè)置的第一單軸加速度計(jì)與第二單軸加速度計(jì)，所述第一單軸加速度計(jì)與第二單軸加速度計(jì)分別包括多個(gè)敏感單元；
第二敏感組件，包括正交設(shè)置的第三單軸加速度計(jì)與第四單軸加速度計(jì)，第三單軸加速度計(jì)與第四單軸加速度計(jì)分別包括多個(gè)敏感單元；
所述第一敏感組件與所述第二敏感組件垂直正交設(shè)置，敏感X、Y、Z方向加速度。
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