[發明專利]制備濾光片的方法有效
| 申請號： | 201710372420.6 | 申請日： | 2017-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN107065053B | 公開（公告）日： | 2019-10-15 |
| 發明（設計）人： | 楊偉;丁維紅;肖念恭 | 申請（專利權）人： | 信陽舜宇光學有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/20 | 分類號： | G02B5/20;G02B1/11;C23C14/32;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 北京謹誠君睿知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人： | 陸鑫;延慧 |
| 地址： | 464000 河南*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 白玻璃 濾光片 制備 紅外截止膜 鍍制 超聲波清洗 減反射膜層 鍍膜設備 工藝清洗 耐溫性能 反射率 有機物 預清洗 致密性 黑點 膜層 旋涂 玻璃 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備濾光片的方法，包括如下步驟：
（a）采用超聲波清洗工藝清洗白玻璃；
（b）采用鍍膜設備對白玻璃進行預清洗，增加白玻璃附著力；
（c）在白玻璃的一個面上鍍制紅外截止膜層；
（d）在白玻璃的另一個面上旋涂有機物形成旋涂層；
（e）在旋涂層上鍍制減反射膜層；
其中，紅外截止膜層的厚度為400-680nm時，反射率＜2%；
所述（c）步驟中，采用離子源輔助鍍膜，離子源的參數設定為以下數值或數值范圍，
。
2.根據權利要求1所述的制備濾光片的方法，其特征在于，紅外截止膜層的半波值為705±5nm。
3.根據權利要求1所述的制備濾光片的方法，其特征在于，所述（d）步驟中，旋涂層的溫度為100±20℃。
4.根據權利要求3所述的制備濾光片的方法，其特征在于，所述（e）步驟中，采用離子源輔助鍍膜，離子源的參數設定在以下數值或數值范圍，
。
5.根據權利要求4所述的制備濾光片的方法，其特征在于，TI3O5材料的蒸發速率為2±0.5埃/秒,SIO2的蒸發速率為6±2埃/秒。
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