[發明專利]一種器件的線性能量轉移值的計算方法在審
| 申請號： | 201710369351.3 | 申請日： | 2017-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN107194071A | 公開（公告）日： | 2017-09-22 |
| 發明（設計）人： | 呂紅亮;趙小紅;張靜;張玉明;張義門 | 申請（專利權）人： | 西安電子科技大學 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 西安銘澤知識產權代理事務所(普通合伙)61223 | 代理人： | 俞曉明 |
| 地址： | 710071*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 器件 線性 能量 轉移 計算方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種器件的線性能量轉移值的計算方法，其特征在于，包括：
利用SRIM軟件建立器件結構，設置入射粒子的種類，能量以及粒子數目，得到的電離能量損失Eenergy_loss與入射深度D的關系；
電離能量損失Eenergy_loss除以產生一對電子空穴對所需要的能量，即獲得每微米產生的電子空穴對數，即LET由下式表示：
式中，Ee-h表示產生一對電子空穴對所需要的能量。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，利用SRIM軟件建立器件結構包括建立器件的各層材料，厚度和組分。
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