[發明專利]一種微波等離子體炬的屏蔽裝置有效
| 申請號： | 201710369124.0 | 申請日： | 2017-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN107426909B | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發明（設計）人： | 陳挺;郭淳;賴曉健;劉文龍 | 申請（專利權）人： | 浙江全世科技有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/30 | 分類號： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州市濱江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 微波 等離子體 屏蔽 裝置 | ||
1.一種微波等離子體炬的屏蔽裝置，包括用于形成等離子體的炬管和用于屏蔽環境氣體的屏蔽罩；所述炬管包括外管和中管；其特征在于，所述屏蔽罩包括屏蔽管、漸變管和密封板；
所述屏蔽管為中空管，所述屏蔽管的內徑稍大于所述中管的外徑，所述漸變管呈下大上小的漸縮狀，所述漸變管上端與所述屏蔽管下端連接，所述漸變管下端外徑與所述外管內徑相等；
所述密封板呈中空狀，套接于所述屏蔽管和漸變管的連接處；
所述漸變管套設于所述中管，且下端與所述外管的內壁相切，所述密封板與所述外管密封連接，所述屏蔽管與所述中管同軸。
2.如權利要求1所述的屏蔽裝置，其特征在于，所述漸變管的漸變部呈喇叭狀。
3.如權利要求1所述的屏蔽裝置，其特征在于，所述漸變管上端的開口內徑與所述屏蔽管的內徑相等。
4.如權利要求1所述的屏蔽裝置，其特征在于，所述屏蔽管、漸變管和密封板為一體式結構。
5.如權利要求1所述的屏蔽裝置，其特征在于，所述屏蔽管和漸變管為一體式結構。
6.如權利要求1所述的屏蔽裝置，其特征在于，所述屏蔽管側向開設有可視窗。
7.如權利要求1所述的屏蔽裝置，其特征在于，所述漸變管側向開設有開槽。
8.如權利要求1所述的屏蔽裝置，其特征在于，所述屏蔽管的內徑與所述中管的外徑的半徑之差為0.5mm或1mm或1.5mm或2mm。
9.如權利要求1-8任一項所述的屏蔽裝置，其特征在于，所述屏蔽管、漸變管和密封板的材質均為可透射微波材質。
10.如權利要求1所述的屏蔽裝置，其特征在于，所述外管沿切向方向開設有切口，所述切口用于引流氧屏蔽氣，且所述氧屏蔽氣于所述外管和中管之間切向螺旋流動。
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