[發明專利]一種材料表面處理裝置及方法

在審

• 申請號: 201710368987.6
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN107018617A
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發明（設計）人: 王紅衛
• 申請（專利權）人: 深圳市奧普斯等離子體科技有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種材料表面處理裝置，其特征在于：包括機箱、進電結構和П型陰極，通過П型陰極可以在機箱內部形成非隔離的完整等離子空間，能將待處理產品一次性完全放置上述空間內，所述П型陰極是一種由多面、非平行布置的電極板組成的空心陰極結構，上述П型陰極通過固定裝置放置于機箱內，與進電結構的連接面和進電結構的軸線呈非平行設置，所述П型陰極和進電結構之夾層采用絕緣材料阻隔，所述絕緣材料與所述П型陰極尺寸配對耦合，且所述П型陰極位于所述絕緣材料內側面上，上述材料表面處理裝置的機箱內為真空腔，由位置蓋板進行密封。

2.如權利要求1所述一種材料表面處理裝置，其特征在于：所述П型陰極為L型兩面空心陰極，兩面陰極板呈90°。

3.如權利要求1所述一種材料表面處理裝置，其特征在于：所述П型陰極為三面空心陰極，由三面陰極板相互垂直構成大致呈U型的結構。

4.如權利要求1所述一種材料表面處理裝置，其特征在于：所述П型陰極為四面空心陰極，由四塊電極板相互垂直構成半封閉六面體結構。

5.如權利要求1所述一種材料表面處理裝置，其特征在于：所述П型陰極為五面空心陰極，由五塊電極板相互垂直構成陰極區域。

6.如權利要求1所述一種材料表面處理裝置，其特征在于：所述П型陰極為一端封閉的圓筒形空心陰極。

7.如權利要求2-6所述的任意一種材料表面處理裝置，其特征在于：由多個所述П型陰極構成的組合式П型陰極結構。

8.一種材料表面處理方法，包括權利要求1-6所述的任意一種材料表面處理裝置，其特征在于按下列步驟依次進行：

將待處理產品輸送到送料系統上；

送料系統的上料系統的輸出工位對應設置于送料系統的輸出工位上方，待處理產品被放置于承重板上從下到上地運輸；

待處理產品整體被以無遮擋式方式運送到機箱的底座上，然后上料系統退出；

關閉位置蓋板；

抽真空；

進反應氣；

接通進電結構；

待處理產品在材料表面處理裝置中的由П型陰極與陽極之間形成的等離子區域內進行處理；

結束放電；

放空；

開啟位置蓋板；

已處理產品被放置于承重板上從上到下地運輸；

將已處理處理產品輸送到出料系統上。

9.如權利要求8所述的一種材料表面處理方法，其特征在于：待處理產品整體被以無遮擋式方式運送到機箱的底座上之前，事先進行擺放，擺放方式包括但不局限于堆疊、掛置；橫向層層設置、縱向成排放置；人工擺放、機械手擺放。

10.如權利要求9所述的一種材料表面處理方法，其特征在于：所述構成П型陰極的電極板包含但不限于單層板/組合版；或者帶有凸狀物的平板，或者附有凹坑的成型板。