[發明專利]一種用于極紫外的二維單級衍射光柵有效
| 申請號： | 201710368980.4 | 申請日： | 2017-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN106959482B | 公開（公告）日： | 2019-08-06 |
| 發明（設計）人： | 劉子維;浦探超;史麗娜;謝常青;王冠亞;李海亮;牛潔斌;劉明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 100029 北京市朝陽*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 紫外 二維 衍射 光柵 | ||
【權利要求書】：
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