[發明專利]一種MEMS器件及其防吸附方法

有效

• 申請號: 201710368321.0
• 申請日: 2017-05-23
• 公開（公告）號: CN107188108B
• 公開（公告）日: 2023-07-21
• 發明（設計）人: 鄒波;羅皓
• 申請（專利權）人: 深迪半導體（紹興）有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81C1/00
• 代理公司: 上海劍秋知識產權代理有限公司 31382
• 代理人: 楊飛

1.一種MEMS器件，其特征在于，包括可動結構、不可動結構、振蕩器和多路電子切換開關；

所述可動結構包括可動質量塊和固定在所述可動質量塊上的可動梳齒；

所述不可動結構包括不可動基底以及固定在所述不可動基底上的至少兩個固定梳齒；

所述振蕩器用于在所述固定梳齒與所述可動梳齒發生吸附時，向所述可動梳齒和未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒輸出振蕩信號，以使所述可動梳齒和未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒之間產生靜電吸力，使發生吸附的所述固定梳齒和所述可動梳齒分開；

所述多路電子切換開關包括多個輸入端和一個輸出端；

所述多個輸入端與所述至少兩個固定梳齒分別連接；

所述輸出端與所述振蕩器的一端相連；所述振蕩器的另一端與所述可動梳齒相連；

所述多路電子切換開關用于在所述固定梳齒與所述可動梳齒發生吸附時，將所述振蕩器和未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒連通，以使所述振蕩器向所述可動梳齒和未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒輸出振蕩信號。

2.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件包括多個所述振蕩器和多個所述多路電子切換開關，所述多路電子切換開關與所述振蕩器一一對應設置。

3.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，還包括檢測電路；

所述檢測電路用于檢測所述固定梳齒與所述可動梳齒是否發生吸附，并在任一所述固定梳齒與所述可動梳齒發生吸附時，向所述多路電子切換開關發送控制信號，以控制所述多路電子切換開關將所述振蕩器與未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒連通。

4.根據權利要求3所述的MEMS器件，其特征在于，所述檢測電路通過檢測所述固定梳齒與所述可動梳齒之間的電阻，判斷所述固定梳齒與所述可動梳齒是否發生吸附。

5.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述振蕩器為壓控振蕩器。

6.根據權利要求5所述的MEMS器件，其特征在于，所述壓控振蕩器輸出的振蕩信號的頻率范圍至少覆蓋所述可動梳齒的諧振頻率范圍。

7.一種MEMS器件的防吸附方法，其特征在于，應用于權利要求1～6任一項所述的MEMS器件，包括：

任一固定梳齒與可動梳齒發生吸附；

多路電子切換開關將振蕩器和未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒連通；

所述振蕩器向所述可動梳齒和未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒輸出振蕩信號，使所述可動梳齒和未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒之間產生靜電吸力，以使發生吸附的所述固定梳齒和所述可動梳齒分開。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，當所述MEMS器件包括檢測電路時，所述多路電子切換開關將所述振蕩器和未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒連通之前，還包括：

所述檢測電路檢測所述固定梳齒與所述可動梳齒是否發生吸附，并在任一所述固定梳齒與所述可動梳齒發生吸附之后，向所述多路電子切換開關發送控制信號，以控制所述多路電子切換開關將所述振蕩器和未與所述可動梳齒發生吸附的所述固定梳齒連通。