[發(fā)明專利]一種高純度球形二氧化硅微粉的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710367464.X | 申請日： | 2017-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN107128935A | 公開（公告）日： | 2017-09-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉亞;王宇湖 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州納迪微電子有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/18 | 分類號： | C01B33/18 |
| 代理公司： | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 純度 球形 二氧化硅 制備 方法 | ||
1.高純度球形二氧化硅微粉的制備方法，具體步驟如下：
(1)將提純后的有機(jī)硅與水、酸性催化劑混合，經(jīng)過水解、縮合為有機(jī)硅聚合物，
(2)在噴霧塔內(nèi)，將有機(jī)硅聚合物和堿性水溶液通過不同噴嘴同時噴出霧化，球形有機(jī)硅液滴與堿性水溶液反應(yīng)，在噴霧塔的內(nèi)部空間中原位固化形成球形氧化硅顆粒，
(3)固化后的球形顆粒落在裝有堿性水溶液的噴霧塔底部，使球形硅微粉在堿性水溶液中陳化，
(4)陳化結(jié)束后，通過固液分離獲得球形硅微粉，將球形硅微粉進(jìn)行干燥，
(5)在高溫爐中500～1200℃煅燒，即得到高純球形硅微粉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度球形二氧化硅微粉的制備方法，其特征在于，步驟(1)中，所述有機(jī)選自硅四甲氧基硅烷或者四乙氧基硅烷或者甲基三甲氧基硅烷中一種或者兩種以上的混合物。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度球形二氧化硅微粉的制備方法，其特征在于，所述酸性催化劑選自鹽酸或硝酸或硫酸或乙酸或者甲酸中一種或者兩種以上的混合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度球形二氧化硅微粉的制備方法，其特征在于，步驟(2)、(3)中，所述堿性水溶液選自氨水或四甲基氫氧化銨或膽堿或乙二胺或異丙胺或乙醇胺中一種或者兩種以上的混合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高純度球形二氧化硅微粉的制備方法，其特征在于，所述堿性水溶液pH＞8。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度球形二氧化硅微粉的制備方法，其特征在于，步驟(3)中，使球形硅微粉在堿性水溶液中陳化1～12小時。
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