[發(fā)明專利]一種真空計在線校準室

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710367379.3
• 申請日: 2017-05-23
• 公開（公告）號: CN108956007A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發(fā)明（設計）人: 歐雷;匡銳丹;童剛;辜亮波;衛(wèi)婧逸;嚴小銳
• 申請（專利權）人: 成都飛機工業(yè)（集團）有限責任公司
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 成飛(集團)公司專利中心 51121
• 代理人: 梁義東

1.一種真空計在線校準室，其特征在于，包括球形校準室（1）、微調閥（8）和標準真空計，球形校準室（1）在圓球的赤道線上設置4個測試口（4），標準真空計通過測試口與球形校準室（1）連接；球形校準室（1）的頂端設有法蘭，微調閥（8）通過法蘭與球形校準室（1）連接，微調閥（8）的出氣口通大氣；球形校準室（1）的底端設有連接法蘭（3），與真空設備相連接。

2.根據權利要求1所述一種真空計在線校準室，其特征在于，所述微調閥（8）的進氣口與球形校準室（1）連接法蘭為KF法蘭。

3.根據權利要求1所述一種真空計在線校準室，其特征在于，所述球形校準室（1）連接的標準真空計，包括電容薄膜真空計（5）和電離真空計（6）。

4.根據權利要求3所述一種真空計在線校準室，其特征在于，所述電離真空計（6）在校準高于10^-2Pa的真空值時選用作為標準真空計。

5.根據權利要求3所述一種真空計在線校準室，其特征在于，所述電容薄膜真空計（5）在校準低于10^-2Pa的真空值時選用作為標準真空計。

6.根據權利要求1所述一種真空計在線校準室，其特征在于，所述球形校準室（1）材料為不銹鋼。