[發明專利]制備陰極環防反射膜用的掩膜及其使用方法

有效

• 申請號: 201710365617.7
• 申請日: 2017-05-22
• 公開（公告）號: CN107403874B
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發明（設計）人: 茆勝
• 申請（專利權）人: 茆勝
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市瑞方達知識產權事務所(普通合伙) 44314
• 代理人: 王少虹;許國興

1.一種制備陰極環防反射膜用的掩膜，其特征在于，包括掩膜版，所述掩膜版為合金板；所述掩膜版上設有對應顯示器（1）上顯示區（3）的遮擋部（10）、對應顯示器（1）上陰極環（2）的鏤空部（20），所述遮擋部（10）位于所述掩膜版的中部，所述鏤空部（20）環繞在所述遮擋部（10）的外圍；

位于所述鏤空部（20）外圍的掩膜版部分形成所述掩膜版的外圈部（30）；所述掩膜版上還設有加強筋（40）；所述加強筋（40）穿過所述鏤空部（20）連接在所述遮擋部（10）和外圈部（30）之間；所述加強筋（40）的寬度為陰極環寬度的50%-500%；

所述遮擋部（10）的形狀為矩形，所述鏤空部（20）包括四個環繞在所述遮擋部（10）側邊的鏤空區（21），所述加強筋（40）位于相鄰的所述鏤空區（21）之間并連接在所述遮擋部（10）的對角處；每一所述鏤空區（21）的兩端不伸出其相鄰的兩個所述鏤空區（21）相背的一側，且所述鏤空區（21）的位于所述加強筋（40）兩側的端部均為尖頭結構；所述掩膜版上還設有至少一個墊高部（50）；所述墊高部（50）位于所述外圈部（30）上，用于將掩膜版撐高在陰極環（2）上，利用PVD成膜的陰影擴散作用，增大防反射膜圖案在所述加強筋（40）遮擋處的擴散區域，使得防反射膜在被所述加強筋（40）遮擋的區域處相互擴散重疊；

所述掩膜版制作時：

在合金板上旋涂光刻膠，并將掩模版圖案光刻在合金板上；掩模版圖案包括對應遮擋部（10）的遮擋區、對應外圈部（30）的邊緣區以及對應加強筋（40）的連接區，連接區連接在遮擋區和邊緣區之間；

用干法或濕法刻蝕將合金板上沒有光刻膠的部分刻穿，刻穿部分形成鏤空部（20），制得掩模版。

2.根據權利要求1所述的掩膜，其特征在于，所述鏤空部（20）的寬度為陰極環（2）寬度的50%-500%。

3.根據權利要求1所述的掩膜，其特征在于，每一所述鏤空區（21）呈一字形。

4.一種權利要求1-3任一項所述的掩膜的使用方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、將掩膜版放置在顯示器（1）上；其中，所述掩膜版的遮擋部（10）遮擋在顯示器（1）的顯示區（3）上，鏤空部（20）對應在顯示器（1）的陰極環（2）處；

S2、將防反射膜材料透過所述鏤空部（20）沉積在所述陰極環（2）上，形成厚度為1000?的防反射膜（4）。