[發(fā)明專利]一種采用激光清理坩堝口的方法及裝置

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• 申請日: 2017-05-22
• 公開（公告）號: CN107435132A
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 茆勝
• 申請（專利權(quán)）人: 茆勝
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 深圳市瑞方達(dá)知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)44314
• 代理人: 馮小梅,劉潔

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及坩堝清理技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種采用激光清理坩堝口的方法及裝置。

背景技術(shù)

在使用坩堝的蒸發(fā)鍍膜工藝中，由于坩堝口離加熱絲較遠(yuǎn)，在坩堝口處的溫度往往低于坩堝內(nèi)部，使得在加熱蒸發(fā)過程中，蒸發(fā)料容易在坩堝口處凝結(jié)甚至堵塞坩堝口，出現(xiàn)這種情況時，為保證材料蒸鍍速率可控，必須終止工藝。

在清理坩堝口附著蒸發(fā)料時，現(xiàn)有的技術(shù)一般可分為以下兩種：1、使用分段加熱絲對坩堝上半部分進(jìn)行升溫處理，使結(jié)料融化，落入坩堝，但該方式一是清理慢且效果不明顯，二是由于加熱絲熱量也會通過坩堝壁傳到蒸發(fā)料中，使得材料蒸發(fā)速率迅速增加，加快凝結(jié)，堵死坩堝口，甚至造成材料噴射和變性；2、打開腔室清理坩堝口，該方式需抽真空、保溫，清理周期較長，容易耽誤工期。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于，針對現(xiàn)有技術(shù)的上述現(xiàn)有技術(shù)中清理慢且效果不明顯、清理周期長的缺陷，提供一種采用激光清理坩堝口的方法，該方法采用激光對坩堝口邊緣的有效部位進(jìn)行快速加熱，可以方便、快捷的清理坩堝口附著的蒸發(fā)料，清理周期短，可避免延誤工期。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：構(gòu)造一種采用激光清理坩堝口的方法，包括以下步驟：

發(fā)射低功率激光并生成對應(yīng)的光斑；

移動光斑至坩堝口邊緣；

生成環(huán)形光圈；

調(diào)整環(huán)形光圈的大小，使得環(huán)形光圈的內(nèi)圓直徑等于或小于坩堝口邊緣直徑，外圓直徑大于坩堝口邊緣直徑；

提高激光功率，進(jìn)行加熱。

作為本發(fā)明的一個優(yōu)選方案，所述步驟“發(fā)射低功率激光并生成對應(yīng)的光斑”具體為：

發(fā)射激光功率低于50W的激光并生成對應(yīng)的光斑。

作為本發(fā)明的一個優(yōu)選方案，所述步驟“生成環(huán)形光圈”具體為：

通過光斑轉(zhuǎn)動生成環(huán)形光圈。

作為本發(fā)明的一個優(yōu)選方案，所述步驟“調(diào)整環(huán)形光圈的大小，使得環(huán)形光圈的內(nèi)圓直徑等于或小于坩堝口邊緣直徑，外圓直徑大于坩堝口邊緣直徑”具體為：

調(diào)整環(huán)形光圈的大小，使得環(huán)形光圈的內(nèi)圓直徑小于等于坩堝口邊緣直徑，外圓直徑比坩堝口邊緣直徑大于等于0.1-50mm。

作為本發(fā)明的一個優(yōu)選方案，所述步驟“提高激光功率，進(jìn)行加熱”之后還包括：

判斷清理效果是否達(dá)到預(yù)設(shè)的要求；

若是，則停止加熱；

若否，則繼續(xù)提高激光功率，直至清理效果達(dá)到預(yù)設(shè)的要求。

同時，本發(fā)明實施例還提供了一種采用激光清理坩堝口的裝置，包括：

激光件，用于發(fā)射激光；

全反射棱鏡組件，用于所述激光件發(fā)射的激光的射入，且生成環(huán)形光圈；

移動件，固定所述激光件，且與所述全反射棱鏡組件連接，用于移動所述激光件、所述全反射棱鏡組件；

升降機(jī)構(gòu)，一端與所述移動件連接，一端與所述全反射棱鏡組件連接，用于上下移動所述全反射棱鏡組件。

作為本發(fā)明的一個優(yōu)選方案，

所述全反射棱鏡組件設(shè)于所述激光件的下端，其包括殼體、全反射棱鏡、與全反射棱鏡連接的用于驅(qū)動所述全反射棱鏡轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)件，所述殼體與所述移動件連接，所述旋轉(zhuǎn)件固定在所述殼體上，所述全反射棱鏡包括用于所述激光件發(fā)射的激光射入的第一側(cè)面、用于全反射射入的激光的第二側(cè)面、用于經(jīng)過全反射后的激光射出的第三側(cè)面。

作為本發(fā)明的一個優(yōu)選方案，所述旋轉(zhuǎn)件、所述全反射棱鏡上分別設(shè)有相互嚙合的第一齒輪、第二齒輪。

作為本發(fā)明的一個有選方案，所述全反射棱鏡上設(shè)有軸承，所述殼體內(nèi)壁設(shè)有與所述軸承相配合的軸承固定夾。

作為本發(fā)明的一個優(yōu)選方案，所述移動件為機(jī)械手。

實施本發(fā)明實施例提供的采用激光清理坩堝口的方法，具有以下有益效果：該方法采用激光對坩堝口邊緣的有效部位進(jìn)行快速加熱，可以方便、快捷的清理坩堝口附著的蒸發(fā)料，清理周期短，可避免延誤工期。

附圖說明

下面將結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，附圖中：

圖1是本發(fā)明實施例1中采用激光清理坩堝口的方法的流程示意圖；

圖2是本發(fā)明實施例1中采用激光清理坩堝口的方法的流程示意圖；

圖3是本發(fā)明實施例2中采用激光清理坩堝口的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實施例2中采用激光清理坩堝口的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

實施例1

如圖1所示，本實施例提供一種采用激光清理坩堝口的方法，其特征在于，包括以下步驟：