[發明專利]用于安裝拋光墊的裝置

有效

• 申請號: 201710363911.4
• 申請日: 2017-05-22
• 公開（公告）號: CN107127679B
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發明（設計）人: 馬海港;張敬業;李海濤;肖月朝;路新春;沈攀
• 申請（專利權）人: 天津華海清科機電科技有限公司;清華大學
• 主分類號: B24B45/00
• 分類號: B24B45/00
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

本發明公開了一種用于安裝拋光墊的裝置，包括：底盤；至少兩個調節定位裝置，所述調節定位裝置安裝于所述底盤的側壁上且位于同一圓周面，所述調節定位裝置包括：滑臺組件，所述滑臺組件相對所述底盤徑向方向可移動，通過調節所述滑臺組件相對所述底盤的位置從而限定出所述拋光墊的安裝區域，使得所述拋光墊同心設置于所述底盤的安裝面上。根據本發明實施例的用于安裝拋光墊的裝置，在底盤的側壁上設置至少兩個調節定位裝置，通過調節滑臺組件相對底盤的位置從而限定出拋光墊的安裝區域，使得拋光墊同心設置于底盤的安裝面上，提高對晶圓拋光的工藝效果。

技術領域

本發明屬于半導體技術領域，特別涉及一種用于安裝拋光墊的裝置。

背景技術

在對晶圓進行拋光之前，首先需要將拋光墊安裝于底盤上，通常是手動將拋光墊水平放置在底盤上，再將拋光墊上的塑料保護層撕掉。由于底盤直徑尺寸較大，且拋光墊尺寸不一，因此，無法保證拋光墊與底盤同心設置，且在安裝過程中拋光墊與底盤的接觸面容易產生氣泡，影響工藝效果。

發明內容

本發明旨在至少在一定程度上解決上述技術問題之一。

為此，本發明提出一種用于安裝拋光墊的裝置，該用于安裝拋光墊的裝置可以準備定位拋光墊，使得拋光墊與底盤同心設置，提高拋光墊的工藝處理效果。

根據本發明實施例的用于安裝拋光墊的裝置包括：底盤；至少兩個調節定位裝置，所述調節定位裝置安裝于所述底盤的側壁上且位于同一圓周面，所述調節定位裝置包括：滑臺組件，所述滑臺組件相對所述底盤徑向方向可移動，通過調節所述滑臺組件相對所述底盤的位置從而限定出所述拋光墊的安裝區域，使得所述拋光墊同心設置于所述底盤的安裝面上。

根據本發明實施例的用于安裝拋光墊的裝置，在底盤的側壁上設置至少兩個調節定位裝置，通過調節滑臺組件相對底盤的位置從而限定出拋光墊的安裝區域，使得拋光墊同心設置于底盤的安裝面上，提高對晶圓拋光的工藝效果。

另外，根據本發明實施例的用于安裝拋光墊的裝置，還可以具有如下附加的技術特征：

根據本發明的一個實施例，所述調節定位裝置進一步包括：定位組件，所述定位組件包括弧形定位板和水平定位板，所述弧形定位板貼合設置于所述底盤的側壁且與所述底盤同心設置，所述水平定位板相切于所述弧形定位板的下部，所述滑臺組件垂直設置于所述水平定位板；上面板，所述上面板設置于所述滑臺組件頂面，所述上面板具有朝向所述底盤方向敞開的定位孔，所述定位孔用于安裝定位桿。

根據本發明的一個實施例，所述底盤的側壁上設有至少兩個安裝孔，兩個所述安裝孔位于同一圓周面上且兩個所述安裝孔與圓心的連線成直角，所述弧形定位板通過緊固件與所述安裝孔配合固定于所述底盤的側壁。

根據本發明的一個實施例，所述底盤的上部具有傾斜面，所述傾斜面沿所述安裝面的周緣向外向下傾斜延伸。

根據本發明的一個實施例，定位桿的下端不高于所述底盤的安裝面，所述定位桿的上端高于所述底盤的安裝面。

本發明的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。

附圖說明

本發明的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是根據本發明一個實施例的用于安裝拋光墊的裝置的俯視圖；

圖2是圖1中沿A-A線的剖視圖；

圖3是圖2中B處的放大圖。

附圖標記：

用于安裝拋光墊的裝置100；

底盤10；安裝面11；傾斜面12；