[發明專利]一種基于PSD的輪廓掃描測量裝置在審
| 申請號： | 201710358647.5 | 申請日： | 2017-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN107121091A | 公開（公告）日： | 2017-09-01 |
| 發明（設計）人： | 孫明;趙善文;彭程;張耀亮 | 申請（專利權）人： | 西安五湖智聯半導體有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710016 陜西省西安市經濟技術*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 psd 輪廓 掃描 測量 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于PSD的輪廓掃描測量裝置，由激光管、激光準直構件、MEMS振鏡、透鏡、濾光片及PSD按照一定角度及距離安裝，其特征在于：激光發射光束，其光束運動路徑形成扇形面，扇形面與被測物體相交，反射光作用在PSD上，再根據反射光在PSD上的位置信息計算被測物體輪廓，之后根據裝置與被測物的相對運動，重建被測物體的三維表面輪廓。
2.根據權利要求1所述的基于PSD的輪廓掃描測量裝置，其特征在于：激光光束運動路徑形成扇形面的步驟為：激光光束照射的MEMS掃描振鏡中心，由MEMS掃描振鏡的掃描動作使反射光束路徑形成扇形區域。
3.根據權利要求1所述的基于PSD的輪廓掃描測量裝置，其特征在于：被測物體反射光束作用在PSD上映射出物體輪廓信息，步驟包括：反射光經透鏡手機作用及濾光片的去噪后在PSD上成相對應的像。
4.根據權利要求1所述的基于PSD的輪廓掃描測量裝置，其特征在于：獲得各交線的輪廓信息后，根據裝置與被測物體的相對運動重構被測對象的輪廓。
5.根據權利要求2所述，其特征在于：激光管、激光準直構件與MEMS振鏡的中心同軸安裝。
6.根據權利要求3所述，其特征在于：透鏡、濾光片與PSD同軸且平行安裝。
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