[發明專利]一種硅料回收酸洗方法及裝置

在審

• 申請號: 201710358500.6
• 申請日: 2017-05-19
• 公開（公告）號: CN108950690A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 劉文濤;王齊;張瀟
• 申請（專利權）人: 浙江昱輝陽光能源有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李海建

本發明公開了一種硅料回收酸洗方法，包括步驟：1)對回收的四周硅料進行酸洗；2)將步驟1)中使用過的酸液儲存于蓄酸箱中，通過上述方法，可將使用過的酸液儲存起來，重復利用，比如可將回收的酸液繼續用于酸洗作業，或用于其他用途，通過對于酸液的再利用，能夠大幅減少酸洗作業中酸液的消耗量，從而實現減少污染物的排放，保護環境的目的。本發明還提供了一種硅料回收酸洗裝置。

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，特別涉及一種硅料回收酸洗方法及裝置。

背景技術

高純硅料是半導體行業和光伏行業的最基礎原料，在行業中所占成本也較高，尤其是在光伏行業中，高純硅料約占總成本的20％，因此，為節約成本，必須要對生產過程中產生的高純硅邊角料進行回收。

在生產時，首先將高純多晶硅做成晶錠，即通過拉制單晶或鑄錠多晶生產成單晶晶錠或多晶晶錠，每個晶錠都是只使用中間的芯部分，四周的硅料經過回收處理再次作為原料生產使用，回收四周硅料時，需要對四周硅料進行酸洗以去除表面雜質、油污等，常規的酸洗方法是使用氫氟酸長時間浸泡，然后將使用過的酸液排掉，上述過程中需消耗大量的氫氟酸，酸洗過程中產生的廢氣、酸液、廢物對環境的污染非常嚴重，尤其是氟離子屬于嚴重污染物，處理難度大，對于生產廠家來說環保壓力巨大。

因此，如何改善硅料回收酸洗方法，使其能夠降低酸液的消耗，減少污染物的排放，成為本領域技術人員亟待解決的重要技術問題。

發明內容

有鑒于此，本發明提供了一種硅料回收酸洗方法及裝置，以達到使其能夠降低酸液的消耗，減少污染物的排放的目的。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種硅料回收酸洗方法，包括步驟：

1)對回收的四周硅料進行酸洗；

2)將所述步驟1)中使用過的酸液儲存于蓄酸箱中。

優選地，將所述蓄酸箱中的酸液回流至將酸液排出的原酸洗槽中重復使用。

優選地，所述原酸洗槽包括多個浸泡槽，至少將其中一個所述浸泡槽中的酸液儲存于所述蓄酸箱中。

優選地，至少將最后一個所述浸泡槽中的酸液存儲于所述蓄酸箱中。

優選地，所述蓄酸箱儲存第一酸洗槽中的酸液，并將酸液供給第二酸洗槽繼續使用。

優選地，所述第一酸洗槽包括多個第一浸泡槽，至少將其中一個所述第一浸泡槽中的酸液儲存于所述蓄酸箱中并供給所述第二酸洗槽繼續使用。

優選地，至少將最后一個所述第一浸泡槽中的酸液儲存于所述蓄酸箱中并供給所述第二酸洗槽使用。

優選地，所述第二酸洗槽包括多個第二浸泡槽，所述蓄酸箱中的酸液至少供給其中一個所述第二浸泡槽使用。

優選地，所述蓄酸箱中的酸液至少供給第一個所述第二浸泡槽使用。

一種硅料回收酸洗裝置，包括酸洗槽、排酸管、供酸管以及蓄酸箱，所述酸洗槽內的酸液經過所述排酸管進入所述蓄酸箱，所述蓄酸箱內的酸液經過所述供酸管流向所述酸洗槽。

優選地，所述酸洗槽包括多個浸泡槽，所述排酸管以及所述供酸管均與至少一個浸泡槽連通。

優選地，所述排酸管與最后一個所述浸泡槽連通，所述供酸管與第一個所述浸泡槽連通。

優選地，所述酸洗槽包括至少兩個，所述排酸管與至少一個所述酸洗槽連通，所述供酸管與剩余的所述酸洗槽連通。