[發(fā)明專利]金屬皮膜的成膜方法及其成膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710356573.1
• 申請(qǐng)日: 2017-05-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107419322B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 佐藤祐規(guī);平岡基記;飯坂浩文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 豐田自動(dòng)車株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C25D17/00
• 分類號(hào): C25D17/00;C25D7/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 王瀟悅;段承恩

1.一種金屬皮膜的成膜方法，其特征在于，包括：

將作為陰極的基板載置于載置臺(tái)；

在陽(yáng)極與固體電解質(zhì)膜之間配置含有金屬離子的金屬溶液，并以隔著所述固體電解質(zhì)膜在所述基板的表面配置所述金屬溶液的方式使所述金屬溶液成為被所述固體電解質(zhì)膜密封在殼體的第1收納室內(nèi)的狀態(tài)，以在與形成所述金屬皮膜的表面相反的一側(cè)的所述基板的背面，隔著具有可撓性的薄膜配置流體的方式，使所述流體成為被所述薄膜密封在所述載置臺(tái)的第2收納室內(nèi)的狀態(tài)，在將所述基板載置于所述載置臺(tái)的狀態(tài)下，使所述載置臺(tái)與所述殼體相對(duì)移動(dòng)，將所述基板夾入所述固體電解質(zhì)膜與所述薄膜之間；

向夾入狀態(tài)下的所述基板按壓所述固體電解質(zhì)膜和所述薄膜，由此使所述固體電解質(zhì)膜和所述薄膜跟隨所述基板的所述表面和所述背面；

在所述基板的表面形成有多個(gè)第1導(dǎo)體部，所述第1導(dǎo)體部用于形成所述金屬皮膜，

在所述基板的背面或所述基板的側(cè)面形成有與所述各第1導(dǎo)體部導(dǎo)通了的第2導(dǎo)體部，

所述薄膜使用在載置所述基板的面具有導(dǎo)電性的薄膜，

在使所述固體電解質(zhì)膜與載置于所述載置臺(tái)的所述基板的表面接觸的狀態(tài)下，通過(guò)將所述薄膜向所述基板的背面按壓由此使所述薄膜與所述第2導(dǎo)體部接觸，通過(guò)向所述薄膜與所述陽(yáng)極之間施加電壓，由此將所述固體電解質(zhì)膜中含有的所述金屬離子還原，使來(lái)源于所述金屬離子的金屬在所述第1導(dǎo)體部析出來(lái)進(jìn)行所述金屬皮膜的成膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬皮膜的成膜方法，其特征在于，

通過(guò)使所述第1收納室內(nèi)的金屬溶液的壓力或所述第2收納室內(nèi)的所述流體的壓力增加，進(jìn)行所述固體電解質(zhì)膜和所述薄膜的按壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬皮膜的成膜方法，其特征在于，還包括：

在將所述基板夾入所述固體電解質(zhì)膜與所述薄膜之間的狀態(tài)下，約束所述殼體與所述載置臺(tái)的相對(duì)位移；

一邊在約束所述位移的狀態(tài)下進(jìn)行所述固體電解質(zhì)膜和所述薄膜的按壓，一邊進(jìn)行所述金屬皮膜的成膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3的任一項(xiàng)所述的金屬皮膜的成膜方法，其特征在于，

在所述基板的背面形成有凹部，所述第2導(dǎo)體部形成于該凹部的底面。

5.一種金屬皮膜的成膜裝置，其特征在于，具備：

陽(yáng)極；

固體電解質(zhì)膜，其配置在所述陽(yáng)極與作為陰極的基板之間，并含有金屬離子；

電源部，其向所述陽(yáng)極與所述基板之間施加電壓；

殼體，其具有將含有金屬離子的金屬溶液進(jìn)行收納的第1收納室；

載置臺(tái)，其載置所述基板，并具有收納流體的第2收納室；

薄膜，其具有可撓性；以及

按壓部，其向被夾入所述固體電解質(zhì)膜與所述薄膜之間的狀態(tài)下的基板，按壓所述固體電解質(zhì)膜和所述薄膜，

在所述陽(yáng)極與所述固體電解質(zhì)膜之間配置所述金屬溶液，并以隔著所述固體電解質(zhì)膜在所述基板的表面配置所述金屬溶液的方式使所述金屬溶液被所述固體電解質(zhì)膜密封在所述第1收納室內(nèi)，

以在與形成所述金屬皮膜的表面相反的一側(cè)的所述基板的背面，隔著所述薄膜配置所述流體的方式，使所述流體被所述薄膜密封在所述第2收納室內(nèi)，

所述殼體和所述載置臺(tái)的至少一者是以能夠?qū)⑺龌鍔A入所述固體電解質(zhì)膜與所述薄膜之間的方式自由移動(dòng)的，

所述薄膜是在載置所述基板的面具有導(dǎo)電性的薄膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的金屬皮膜的成膜裝置，其特征在于，

所述按壓部是對(duì)所述第1收納室內(nèi)的所述金屬溶液加壓的泵、或?qū)λ龅?收納室內(nèi)的所述流體加壓的泵。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的金屬皮膜的成膜裝置，其特征在于，還具備：

約束部，其在將所述基板夾入所述固體電解質(zhì)膜與所述薄膜之間的狀態(tài)下，約束所述殼體與所述載置臺(tái)的相對(duì)位移。