[發(fā)明專利]硬掩模用組合物

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710353841.4
• 申請(qǐng)日: 2017-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN107526252B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔漢永;梁敦植
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東友精細(xì)化工有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/11
• 分類號(hào): G03F7/11
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;宋海花

1.一種硬掩模用組合物，其包含共聚物和溶劑，所述共聚物包含下述化學(xué)式1所表示的重復(fù)單元，

[化學(xué)式1]

式中，Ar為選自由下述化學(xué)式1-1～下述化學(xué)式1-5所表示的基團(tuán)組成的組中的至少一種，

化學(xué)式1-1

化學(xué)式1-2

化學(xué)式1-3

化學(xué)式1-4

化學(xué)式1-5

R為氫原子、碳原子數(shù)1～6的烷基或碳原子數(shù)6～18的芳基，

所述V為乙烯基、乙炔基、或者被乙烯基或乙炔基取代的苯基，

所述X為選自由氫原子、下述化學(xué)式2-1和下述化學(xué)式2-2所表示的基團(tuán)組成的組中的至少一種，

化學(xué)式2-1

化學(xué)式2-2

所述Ar、R、V和X各自獨(dú)立地可被碳原子數(shù)1～6的烷基、羥基、甲氧基或苯基進(jìn)一步取代，

n為1～190的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，包含所述化學(xué)式1所表示的重復(fù)單元的共聚物是通過在由碳原子數(shù)6～35的芳基化合物與下述化學(xué)式p-1-1～p-1-3中的任一個(gè)所表示的化合物的縮合反應(yīng)制造的預(yù)聚物中添加下述化學(xué)式p-2-1～p-2-4中的任一個(gè)所表示的化合物而制造的化合物，

化學(xué)式p-1-1

HCHO

化學(xué)式p-1-2

化學(xué)式p-1-3

化學(xué)式p-2-1

化學(xué)式p-2-2

化學(xué)式p-2-3

化學(xué)式p-2-4

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，所述化學(xué)式1所表示的重復(fù)單元的含量在所述共聚物中為5～50摩爾％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，組合物總重量中，包含所述化學(xué)式1所表示的重復(fù)單元的共聚物的含量為5～15重量％，所述溶劑的含量為85～95重量％。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，其進(jìn)一步包含交聯(lián)劑和催化劑中的至少一種。