[發(fā)明專利]顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710353681.3
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN107403869B
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石井良典;渡部一史;鈴村功
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日本顯示器
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/52;G02F1/1333
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 楊宏軍;焦成美

本發(fā)明涉及顯示裝置。本發(fā)明要解決的課題為改善針對水分的阻隔特性，從而實(shí)現(xiàn)可靠性高的有機(jī)EL顯示裝置。本發(fā)明的解決手段為一種有機(jī)EL顯示裝置，其特征在于，是在基板(100)上形成TFT、在所述TFT之上形成有機(jī)EL層(112)的有機(jī)EL顯示裝置，在所述有機(jī)EL層(112)之上形成保護(hù)層(114)，在所述基板(100)與所述TFT之間形成有包含AlOx的第一阻隔層(10)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示裝置，特別涉及能夠使基板彎曲的柔性顯示裝置。另外，涉及將氧化物半導(dǎo)體用于TFT的柔性顯示裝置。

背景技術(shù)

關(guān)于有機(jī)EL顯示裝置、液晶顯示裝置，通過將顯示裝置設(shè)置的較薄，從而能夠?qū)⑵淙嵝缘貜澢⑦M(jìn)行使用。這種情況下，通過薄玻璃或者薄樹脂來形成用以形成元件的基板。有機(jī)EL顯示裝置由于不使用背光源，因此在薄型化方面更加有利。

液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置具有導(dǎo)電層、無機(jī)絕緣層、有機(jī)絕緣層、半導(dǎo)體層等多層的層結(jié)構(gòu)。若將熱膨脹系數(shù)不同的層層疊的話，由此會在膜中產(chǎn)生應(yīng)力，有時在薄膜中產(chǎn)生裂紋、剝離。

專利文獻(xiàn)1中記載了為了緩和形成了有機(jī)絕緣膜和ITO(氧化銦錫，Indium TinOxide)時的、膜間的應(yīng)力，而在有機(jī)絕緣膜與ITO之間配置SiOx₂膜和Cr₂O₃膜的層疊結(jié)構(gòu)的構(gòu)成。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2004-317649號公報

發(fā)明內(nèi)容

為了控制施加至像素的信號，使用TFT(薄膜晶體管，Thin Fim Transistor)。一直以來，TFT中使用了a-Si(Amorphous-Si，無定形硅)、Poly-Si(多晶硅)。另一方面，因?yàn)槭褂昧搜趸锇雽?dǎo)體的TFT的漏電流小，所以能夠長期穩(wěn)定地保持像素電極的電壓，因此近年來受到矚目。但是，氧化物半導(dǎo)體具有不耐受水分、氫的性質(zhì)。

另一方面，在有機(jī)EL顯示裝置中，構(gòu)成發(fā)光層的有機(jī)EL材料由于水分的存在而分解、性能劣化。因而，為了確保工作壽命，需要保護(hù)有機(jī)EL層使其不受水分的損害。作為針對水分等的阻隔件，一直以來使用了SiOx(本說明書中述及SiOx時，意思是以SiO₂為基本結(jié)構(gòu)，一般而言表示偏離化學(xué)計(jì)量組成(Stoichiometry)x＝2)、或者SiNx(本說明書中述及SiNx時，意思是以Si₃N₄為基本結(jié)構(gòu)，一般而言表示偏離化學(xué)計(jì)量組成x＝4/3)的層疊膜。

但是，就SiOx或者SiNx等而言，針對水分、氫等的阻隔性能不充分。本發(fā)明的課題在于，保護(hù)TFT、有機(jī)EL層不受水分、氫的損害，并實(shí)現(xiàn)長壽命的顯示裝置。

用于解決問題的手段

本發(fā)明是克服上述問題的發(fā)明，代表性的方案如下所述。

(1)一種有機(jī)EL顯示裝置，其特征在于，為在基板上形成TFT、在所述TFT之上形成有機(jī)EL層的有機(jī)EL顯示裝置，在所述有機(jī)EL層之上形成保護(hù)層，在所述基板與所述TFT之間形成有包含AlOx的第一阻隔層。

(2)(1)中所述的有機(jī)EL顯示裝置，其特征在于，所述第一阻隔層由第一AlOx與第二AlOx的層疊結(jié)構(gòu)形成。

(3)一種液晶顯示裝置，其特征在于，在第一基板上形成TFT和像素電極，與所述第一基板相對地配置第二基板，在所述第一基板與所述第二基板之間夾持有液晶，

在所述TFT與所述第一基板之間形成有包含AlOx的第一阻隔層。

(4)(3)所述的液晶顯示裝置，其特征在于，所述第一阻隔層由第一AlOx與第二AlOx的層疊結(jié)構(gòu)形成。

附圖說明