[發明專利]一種旋轉鈮靶材及其制備方法有效
| 申請號： | 201710350812.2 | 申請日： | 2017-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN107130216B | 公開（公告）日： | 2019-02-19 |
| 發明（設計）人： | 羅永春;胥小勇;石煜;曾墩風;王志強;雷雨;江濤 | 申請（專利權）人： | 蕪湖映日科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京正聯知識產權代理有限公司 32243 | 代理人： | 胡定華 |
| 地址： | 241000 安徽省蕪湖*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鈮靶 制備 等離子噴涂 晶粒 鈮材料 靶材 噴涂 氧氮 修補 制造 | ||
【權利要求書】：
1.一種旋轉鈮靶材的制備方法，其特征在于：所述旋轉鈮靶材的密度為7.6-8.2g/cm3，所述旋轉鈮靶材的氧含量為3000-6000ppm，所述旋轉鈮靶材的氮含量為2000-12000ppm，所述旋轉鈮靶材的晶粒尺寸≤15μm，所述制備方法步驟如下：
步驟一：將基體表面進行噴砂清理，并噴涂打底層；
步驟二：使用熱噴涂設備將鈮粉末或鈮絲噴涂在基體表面；
步驟三：對靶材表面進行剖光處理，并對其進行兩端進行機加工處理。
2.如權利要求1所述的一種旋轉鈮靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟二中對靶材進行噴涂時使用惰性氣體做氣氛保護。
3.如權利要求1所述的一種旋轉鈮靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟一中基體為合金管。
4.如權利要求1所述的一種旋轉鈮靶材的制備方法，其特征在于：此旋轉靶材經磁控濺射使用后的殘靶材，經過表面清潔處理后可繼續使用熱噴涂的方法進行噴涂修復得到新靶材。
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