[發明專利]一種真空裝置

在審

• 申請號: 201710348684.8
• 申請日: 2017-05-17
• 公開（公告）號: CN106935112A
• 公開（公告）日: 2017-07-07
• 發明（設計）人: 祝巍;趙偉;趙霞;浦其榮;胡勇;張增明
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: G09B23/12
• 分類號: G09B23/12
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 尹君君,李海建

1.一種真空裝置，其特征在于，包括：

支架；

可拆卸的設置于所述支架上的主管道；

與所述主管道內部連通的且與所述主管道可拆卸連接的機械泵(A)；

與所述主管道內部連通的且與所述主管道可拆卸連接的抽氣閥(2)；

與所述主管道內部連通的且與所述主管道可拆卸連接的氣壓表(B)；

與所述主管道內部連通的且與所述主管道可拆卸連接的熱偶規管(C)以及與所述熱偶規管(C)連接的熱偶計，所述機械泵(A)、抽氣閥(2)、氣壓表(B)以及熱偶規管(C)沿著所述主管道的軸向依次排布。

2.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，還包括與所述主管道內部連通的且與所述主管道可拆卸連接的石英管(D)。

3.根據權利要求2所述的真空裝置，其特征在于，還包括用于觀察放電現象的火花檢漏儀。

4.根據權利要求2所述的真空裝置，其特征在于，所述主管道包括第一三通(3)、第二三通(4)以及第三三通，其中所述第一三通(3)的第一口與所述機械泵(A)連通，所述第一三通(3)的第二口與所述抽氣閥(2)的一端連通，所述第一三通(3)的第三口連接有放氣閥(1)；

所述第二三通(4)的第一口與所述抽氣閥(2)的另一端連通，所述第二三通(4)的第二口與所述氣壓表(B)連接，所述第二三通(4)的第三口與所述第三三通的第一口連通；

所述第三三通的第二口與所述石英管(D)連接，所述第三三通的第三口與所述熱偶規管(C)連通。

5.根據權利要求2所述的真空裝置，其特征在于，所述主管道包括第一三通(3)、第二三通(4)以及四通(5)，其中所述第一三通(3)的第一口與所述機械泵(A)連通，所述第一三通(3)的第二口與所述抽氣閥(2)的一端連通，所述第一三通(3)的第三口連接有放氣閥(1)；

所述第二三通(4)的第一口與所述抽氣閥(2)的另一端連通，所述第二三通(4)的第二口與所述氣壓表(B)連接，所述第二三通(4)的第三口與所述四通(5)的第一口連通；

所述四通(5)的第二口與所述石英管(D)連接，所述四通(5)的第三口與所述熱偶規管(C)連通，所述四通(5)的第四口通過盲板封堵作為備用接口。

6.根據權利要求5所述的真空裝置，其特征在于，所述抽氣閥(2)的兩端均通過卡箍分別與所述第一三通(3)和第二三通(4)連接，所述放氣閥(1)也通過卡箍與所述第一三通(3)連接，所述第二三通(4)也通過卡箍與所述四通(5)連接。

7.根據權利要求5所述的真空裝置，其特征在于，所述石英管(D)和熱偶規管(C)通過接頭與所述四通(5)連接；

所述第一三通(3)的第一口也通過轉接頭與所述機械泵(A)的波紋管連接。

8.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，所述支架上設置有用于固定所述主管道的管夾。

9.根據權利要求1所述的真空裝置，其特征在于，所述抽氣閥(2)為球閥或者針閥。