[發明專利]X射線表征設備原位池聯用的反應控制和質譜分析裝置

有效

• 申請號: 201710347554.2
• 申請日: 2017-05-17
• 公開（公告）號: CN107238618B
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 楊永;劉澤邦;李沛豪;葉甫根尼·沃夫克
• 申請（專利權）人: 上海科技大學
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 翁若瑩;柏子雵

1.一種X射線表征設備原位池聯用的反應控制和質譜分析裝置，包括真空管線部分(2)，真空管線部分(2)包括總排氣口(6)、原位反應池尾氣口(7)及原位反應池混氣進樣口(8)，其特征在于，所述真空管線部分(2)還包括質譜儀采樣口(9)，所述反應控制和質譜分析裝置還包括反應氣體成分控制模塊及在線氣體成分分析模塊，其中：

在線氣體成分分析模塊經由質譜儀采樣口(9)通過毛細管(11)對原位反應池尾氣口(7)進行氣體微量采樣，在線氣體成分分析模塊包括質譜儀電四級桿(17)、分子泵組、針閥或高精度計量閥(16)，原位反應池(13)的原配機械泵(10)及分子泵組通過各自的抽氣通道將采樣氣體自毛細管(11)抽出，被抽出毛細管(11)的氣體一部分流向質譜儀電四級桿(17)，另一部分流入原配機械泵(10)，由針閥或高精度計量閥(16)調制流向質譜儀電四級桿(17)與流入原配機械泵(10)的氣體流量的配比；

反應氣體成分控制模塊包括混合氣體供氣氣路、單一氣體供氣氣路、氣路切換單元及保壓單元，混合氣體供氣氣路及單一氣體供氣氣路提供的兩路氣路通過氣路切換單元切換，一路連接原位反應池混氣進樣口(8)，另一路與原位反應池尾氣口(7)匯合后連接總排氣口(6)，連接原位反應池混氣進樣口(8)的氣路終端及連接總排氣口(6)的氣路終端通過各自的保壓單元保壓；

與原位反應池尾氣口(7)相連的管線采用內徑較小的管線，使得原位反應池尾氣口(7)與毛細管(11)之間的總共管道內部體積遠小于原位反應池(13)自身的死體積；

毛細管(11)采用縮口金屬毛細管；

原配機械泵(10)提供原位反應池(13)開始工作前所需要的預真空。

2.如權利要求1所述的一種X射線表征設備原位池聯用的反應控制和質譜分析裝置，其特征在于，所述在線氣體成分分析模塊及所述反應氣體成分控制模塊分別設于雙層工具車的上下兩層；

所述在線氣體成分分析模塊通過同一面板上的四個卡套接口或快接接口中的一個接口與所述質譜儀采樣口(9)相通，所述反應氣體成分控制模塊通過同一面板上的四個卡套接口或快接接口中的另外三個接口與所述總排氣口(6)、所述原位反應池尾氣口(7)及所述原位反應池混氣進樣口(8)相通。

3.如權利要求1所述的一種X射線表征設備原位池聯用的反應控制和質譜分析裝置，其特征在于，所述毛細管(11)的兩端分別通過各自的控制球閥組(12)與所述原配機械泵(10)及所述質譜儀采樣口(9)相連通。

4.如權利要求1所述的一種X射線表征設備原位池聯用的反應控制和質譜分析裝置，其特征在于，所述混合氣體供氣氣路包括分別與三種氣體相連的質量流量計(14)，三個質量流量計(14)的輸出混合后形成具有最多三個精確流量和組份配比的混合氣體；

所述單一氣體供氣氣路包括一個質量流量計(14)，通過質量流量計(14)精確控制單一氣體的流量。