[發明專利]動態控制濺射靶材利用率的控制裝置和控制方法有效
| 申請號： | 201710346133.8 | 申請日： | 2017-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN106958011B | 公開（公告）日： | 2019-02-22 |
| 發明（設計）人： | 趙其煜 | 申請（專利權）人： | 趙其煜 |
| 主分類號： | C23C14/54 | 分類號： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京匯知杰知識產權代理事務所(普通合伙) 11587 | 代理人： | 吳煥芳;楊巍 |
| 地址： | 215332 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 動態控制 濺射 利用率 控制 裝置 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于趙其煜，未經趙其煜許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710346133.8/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
