[發(fā)明專利]一種泵電機(jī)殼表面硅薄膜沉積方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710346096.0
• 申請(qǐng)日: 2017-05-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107287558A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鳳元軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽綠環(huán)泵業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/12
• 分類號(hào): C23C14/12;C23C14/02;C23C14/22
• 代理公司: 合肥廣源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)34129
• 代理人: 羅滬光

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于泵電機(jī)殼制造領(lǐng)域，具體涉及一種泵電機(jī)殼表面硅薄膜沉積方法。

背景技術(shù)

泵電機(jī)殼是泵體上的一個(gè)重要部件，其可以起到保護(hù)電機(jī)的作用，由于泵使用環(huán)境較為惡劣，導(dǎo)致一些泵電機(jī)殼在使用的過(guò)程中極易受到酸堿性物質(zhì)的腐蝕，并且其長(zhǎng)期在空氣濕度比較大的地方工作時(shí)，水分子極易穿透泵電機(jī)殼，造成電機(jī)受潮現(xiàn)象的發(fā)生。雖然在其表面涂上油漆能起到保護(hù)電機(jī)的作用，但是油漆的保護(hù)時(shí)間不長(zhǎng)，市售的大部分油漆均不具有優(yōu)異的防腐蝕能力，并且涂漆工藝耗時(shí)費(fèi)力，因此急需一種科學(xué)有效的泵電機(jī)殼的防護(hù)方法。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種泵電機(jī)殼表面硅薄膜沉積方法。

本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。

一種泵電機(jī)殼表面硅薄膜沉積方法，包括以下操作步驟：

（1）將泵電機(jī)殼放入活化液中浸泡20-30min，取出，用去離子水洗凈電機(jī)殼表面，其中活化液由以下重量份的組分制成：琥珀酸二鈉5-9份、甲基丙烯磺酸鈉4-7份、六氟磷酸鈉8-10份、氫氧化鉀0.4-0.6份、水150-170份；

（2）將活化后的泵電機(jī)殼放入真空室中，抽真空，之后將真空室內(nèi)的溫度升至150-170℃時(shí)，立即向其中充入壓力為7.0-7.5×10³Pa甲硅烷氣體，繼續(xù)將真空室內(nèi)的溫度升至280-300℃，持續(xù)此溫度3.5-4小時(shí)，之后停止加熱，并向其中通入溫度為5-10℃、相對(duì)濕度為20-30%的空氣，直至真空室內(nèi)溫度降至室溫時(shí)，取出泵電機(jī)殼。

具體地，上述泵電機(jī)殼進(jìn)行活化前，需要用洗滌劑清除器表面污漬，再用除脂劑除去表面油脂，再用清水清洗器表面。

具體地，所述活化液使用時(shí)的溫度為35-40℃。

具體地，所述甲硅烷氣體的純度為99.99%以上。

具體地，上述步驟（2）中，空氣的通入速度為20-25L/min。

由以上的技術(shù)方案可知，本發(fā)明的有益效果是：

采用本發(fā)明提供的方法，在泵電機(jī)殼表面沉積硅薄膜，可以有效的提升泵電機(jī)殼的耐腐蝕能力，起到了長(zhǎng)久有效的保護(hù)泵電機(jī)的作用，延長(zhǎng)了泵的使用壽命和擴(kuò)大了泵的應(yīng)用領(lǐng)域。其中，本發(fā)明提供的活化液，可以有效的改善泵殼表面的活性，加快硅烷膜在其表面沉積的速度，并且能增強(qiáng)硅烷膜在其表面的附著力，使其能長(zhǎng)久有效的保護(hù)泵電機(jī)殼；再硅膜沉積在泵殼表面后，采用溫度為5-10℃、相對(duì)濕度為20-30%的空氣置換真空室內(nèi)的熱空氣，既能起到加快降溫速度的作用，更能使得硅膜在快速降溫的過(guò)程中，在泵電機(jī)殼表面變得更為致密，不易脫落，極大地提升了硅膜的防護(hù)效果。

具體實(shí)施方式

以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不能用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。實(shí)施例中采用的實(shí)施條件可以根據(jù)廠家的條件作進(jìn)一步調(diào)整，未說(shuō)明的實(shí)施條件通常為常規(guī)實(shí)驗(yàn)條件。

實(shí)施例1

一種泵電機(jī)殼表面硅薄膜沉積方法，包括以下操作步驟：

（1）將泵電機(jī)殼放入活化液中浸泡20min，取出，用去離子水洗凈電機(jī)殼表面，其中活化液由以下重量份的組分制成：琥珀酸二鈉5份、甲基丙烯磺酸鈉4份、六氟磷酸鈉8份、氫氧化鉀0.4份、水150份；

（2）將活化后的泵電機(jī)殼放入真空室中，抽真空，之后將真空室內(nèi)的溫度升至150℃時(shí)，立即向其中充入壓力為7.0×10³Pa甲硅烷氣體，繼續(xù)將真空室內(nèi)的溫度升至280℃，持續(xù)此溫度3.5小時(shí)，之后停止加熱，并向其中通入溫度為5℃、相對(duì)濕度為20%的空氣，直至真空室內(nèi)溫度降至室溫時(shí)，取出泵電機(jī)殼。

具體地，上述泵電機(jī)殼進(jìn)行活化前，需要用洗滌劑清除器表面污漬，再用除脂劑除去表面油脂，再用清水清洗器表面。

具體地，所述活化液使用時(shí)的溫度為35℃。

具體地，所述甲硅烷氣體的純度為99.995%。

具體地，上述步驟（2）中，空氣的通入速度為20L/min。

實(shí)施例2

一種泵電機(jī)殼表面硅薄膜沉積方法，包括以下操作步驟：

（1）將泵電機(jī)殼放入活化液中浸泡25min，取出，用去離子水洗凈電機(jī)殼表面，其中活化液由以下重量份的組分制成：琥珀酸二鈉7份、甲基丙烯磺酸鈉5份、六氟磷酸鈉9份、氫氧化鉀0.5份、水160份；