[發明專利]光照射裝置及用于該光照射裝置的光纖路徑

有效

• 申請號: 201710346026.5
• 申請日: 2017-05-17
• 公開（公告）號: CN107526129B
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: 豬狩真一;久保修彥
• 申請（專利權）人: 國立研究開發法人產業技術綜合研究所;山下電裝株式會社
• 主分類號: G02B6/00
• 分類號: G02B6/00
• 代理公司: 11444 北京匯思誠業知識產權代理有限公司
• 代理人: 龔敏;王剛

本發明提供光照射裝置及用于該光照射裝置的光纖路徑，光照射裝置可以增大光量調整的程度，在光量調整時也能夠使光譜分布無變化，能夠在光量調整之后立即使用該光源光，在光量調整時能夠均勻地維持光強度的面內分布，而且，在調整光譜分布時能夠均勻地維持面內的光譜分布。光照射裝置具備多個光源、可分別選擇性地傳送來自多個光源的光的多個光傳送路徑、具有來自這些多個光傳送路徑的光分別入射的多個光入射端和單一的光射出端的光纖路徑。光纖路徑具備多個光纖束，這些多個光纖束在入射端分別構成所述多個光入射端，并且在射出端組合而構成所述單一的光射出端。多個光纖構成多個光纖束。多個光纖束中的光纖在單一的光輸出端相互均勻地分散配置。

技術領域

本發明涉及能夠可變控制照射的光的強度或光譜分布的光照射裝置及用于該光照射裝置的光纖路徑。

背景技術

在以氙燈等放電燈為光源的光照射裝置中，要使照射的光的強度階段性地減小的情況下，通常進行的是使向該放電燈供給的燈電流階段性地減小。但是，基于這種燈電流的減光控制，極限是使光強度降低至最大的1/2左右，在要減小至低于1/2的情況下，需要將網狀濾波器或沖孔板等機械的減光單元插入光路。

關于這種機械的減光單元，專利文獻1中記載有，在可減光的光源裝置和光纖束之間設置形成有多個通孔的減光板，將從光源裝置朝向光纖束的光減光。另外，專利文獻2中記載有，在光路中插入遮光板上設置有多個通孔的沖孔式減光濾波器，將來自光源的光束的一部分阻斷并減光。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第4406140號公報

專利文獻2：國際公開第2013/136867號公報

發明內容

發明所要解決的課題

如果使用這種機械的減光單元，雖然可以將來自光源的光大幅減光，但不僅具有使通過的光的光譜分布變化這樣的問題，而且面內的光強度分布的均勻性也會惡化。

另外，在放電燈中，使燈電流變化而進行光源光的減光(調光)本身具有從光源射出的光的光譜分布特性變化這樣的比較大的問題，進而，還具有以下問題：使燈電流變化后直至燈電壓穩定而光束穩定為止，需要10分鐘左右的待機時間，在剛減光之后不能立即使用該減光光。

本發明提供能夠消除現有技術的上述的問題點的新的結構的光照射裝置及用于該光照射裝置的光纖路徑。

即，本發明的目的在于，提供能夠增大光量調整的程度(光量調整率)的光照射裝置及用于該光照射裝置的光纖路徑。

本發明的其它目的在于，提供在光量調整時光譜分布也沒有變化的光照射裝置及用于該光照射裝置的光纖路徑。

本發明的進一步的目的在于，提供可以在光量調整之后立即使用該光源光的光照射裝置及用于該光照射裝置的光纖路徑。

本發明的再進一步的目的在于，提供在光量調整時也能夠均勻地維持光強度的面內分布的光照射裝置及用于該光照射裝置的光纖路徑。

本發明的進一步的目的在于，提供在調整光譜分布時光譜分布在面內也均勻的光照射裝置及用于該光照射裝置的光纖路徑。

用于解決課題的手段

根據本發明，光照射裝置具備：多個光源；可分別選擇性地傳送來自多個光源的光的多個光傳送路徑；以及具有來自這些多個光傳送路徑的光分別入射的多個光入射端和單一的光射出端的光纖路徑。光纖路徑具備多個光纖束，這些多個光纖束在入射端分別構成上述的多個光入射端，并且在射出端組合而構成上述的單一的光射出端。多個光纖構成多個光纖束。多個光纖束中的光纖在單一的光輸出端相互均勻地分散配置。