[發(fā)明專利]一種激光倍頻晶體的精密夾持裝置與主動光學(xué)控制方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710344539.2 | 申請日: | 2017-05-16 |
| 公開(公告)號: | CN107179591B | 公開(公告)日: | 2019-06-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王輝;張政;田門吉雅;劉天野;龍凱 | 申請(專利權(quán))人: | 清華大學(xué) |
| 主分類號: | G02B7/00 | 分類號: | G02B7/00 |
| 代理公司: | 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215 | 代理人: | 段俊濤 |
| 地址: | 100084 北京市海淀區(qū)1*** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 激光倍頻晶體 框架組件 主動光學(xué) 促動器支架 納米促動器 夾持裝置 晶體面形 晶體壓板 壓電 預(yù)緊 精密 慣性約束聚變裝置 壓電陶瓷控制器 高功率激光 仿真建模 光學(xué)元件 機(jī)械裝配 球形壓頭 預(yù)緊螺釘 自動光學(xué) 工藝流程 超精密 全閉環(huán) 大徑 底面 調(diào)校 凸臺 裝校 裝配 串聯(lián) 調(diào)控 保證 | ||
1.一種激光倍頻晶體的精密夾持裝置,其特征在于,包括:
框架組件(2),為矩形框體,用于實(shí)現(xiàn)夾持裝置整體在終端光學(xué)組件中的安裝和定位,激光倍頻晶體元件(1)位于矩形框體內(nèi);
晶體壓板(3),為條狀結(jié)構(gòu),設(shè)置在框架組件(2)的框體上方,實(shí)現(xiàn)激光倍頻晶體元件(1)的初始預(yù)緊;
促動器支架(4),設(shè)置在框架組件(2)的框體上方,作為進(jìn)行晶體面形主動光學(xué)控制的基礎(chǔ),促動器支架(4)的頂部位置的側(cè)面開有矩形槽;
壓電納米促動器(5),其尾部卡入所述矩形槽中,并通過預(yù)緊螺釘進(jìn)行徑向固定和軸向限位,所述壓電納米促動器(5)能夠沿自身軸向輸出直線運(yùn)動,其頭部輸出端安裝有與激光倍頻晶體元件(1)的正面直接接觸的球形壓頭(6);
壓電陶瓷控制器(8),與所述壓電納米促動器(5)以及上位計(jì)算機(jī)連接,根據(jù)上位計(jì)算機(jī)的指令輸出不同大小的電壓驅(qū)動所述壓電納米促動器(5)產(chǎn)生相應(yīng)大小的位移載荷施加到激光倍頻晶體元件(1)的表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述激光倍頻晶體的精密夾持裝置,其特征在于,所述框架組件(2)在其四個(gè)側(cè)面上共開有8個(gè)螺紋孔,用來實(shí)現(xiàn)夾持裝置整體在終端光學(xué)組件中的安裝和定位。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述激光倍頻晶體的精密夾持裝置,其特征在于,所述框架組件(2)的正面上部,共開有40個(gè)螺紋孔,其中24個(gè)用于安裝晶體壓板(3)以實(shí)現(xiàn)激光倍頻晶體元件(1)的初始預(yù)緊,另外16個(gè)用于安裝促動器支架(4)作為進(jìn)行晶體面形主動光學(xué)控制的基礎(chǔ)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述激光倍頻晶體的精密夾持裝置,其特征在于,在每個(gè)所述晶體壓板(3)上開有2個(gè)光孔,預(yù)緊螺釘穿過這兩個(gè)光孔,擰入框架組件(2)上的螺紋孔,使得晶體壓板(3)可以實(shí)現(xiàn)對激光倍頻晶體元件(1)的正面初始預(yù)緊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述激光倍頻晶體的精密夾持裝置,其特征在于,所述促動器支架(4)底座上開有2個(gè)光孔,預(yù)緊螺釘穿過這兩個(gè)光孔,擰入框架組件(2)上的螺紋孔,將促動器支架(4)固定在框架組件(2)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述激光倍頻晶體的精密夾持裝置,其特征在于,所述促動器支架(4)頭部矩形槽的側(cè)壁和頂部各開有一個(gè)螺紋孔,預(yù)緊螺釘擰入側(cè)壁螺紋孔實(shí)現(xiàn)對壓電納米促動器(5)的徑向固定,預(yù)緊螺釘擰入頂部螺紋孔實(shí)現(xiàn)對壓電納米促動器(5)的軸向限位。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述激光倍頻晶體的精密夾持裝置,其特征在于,所述框架組件(2)的正面底部有12個(gè)凸臺,用來實(shí)現(xiàn)激光倍頻晶體元件(1)的底面定位。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述激光倍頻晶體的精密夾持裝置,其特征在于,所述晶體壓板(3)與激光倍頻晶體元件(1)的接觸區(qū)域跟框架組件(2)正面底部的凸臺錯(cuò)位形成杠桿,使得初始預(yù)緊力對晶體面形起到初步補(bǔ)償作用,所述球形壓頭(6)與激光倍頻晶體元件(1)的接觸點(diǎn)同樣跟框架組件(2)正面底部的凸臺錯(cuò)位形成杠桿,實(shí)現(xiàn)對激光倍頻晶體元件(1)面形的主動補(bǔ)償和調(diào)控。
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