[發明專利]掩膜板及其制作方法

在審

• 申請號: 201710344347.1
• 申請日: 2017-05-16
• 公開（公告）號: CN108866475A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 屈曉娟;高志豪
• 申請（專利權）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10;H01L27/32;H01L51/56
• 代理公司: 上海隆天律師事務所 31282
• 代理人: 鐘宗;王寧

本發明公開了一種掩膜板及其制作方法。該掩膜板用于對多個顯示面板進行蒸鍍，該掩膜板包括：中央區域以及位于所述中央區域外圍的邊沿區域；所述中央區域包括：隔斷突起，所述隔斷突起在所述中央區域呈網格狀排布；多個開口區，每個所述開口區位于所述隔斷突起的一個獨立網格內，所述隔斷突起處的掩膜板的厚度大于所述開口區的掩膜板的厚度，所述隔斷突起具有自所述隔斷突起的頂壁向所述開口區傾斜延伸的側壁；以及所述邊沿區域包括至少兩個焊接區，所述焊接區的掩膜板的厚度大于所述開口區的掩膜板的厚度，所述焊接區具有自所述焊接區的頂壁向所述開口區傾斜延伸的側壁。本發明的掩膜板能夠保證具有高的蒸鍍精度，便于焊接，焊接后無褶皺現象。

技術領域

本發明涉及顯示面板制造技術領域，具體地說，涉及一種掩膜板及其制作方法。

背景技術

有機電致發光(OLED)顯示器具有功耗低、輕便、亮度高、視野寬和反應快等特點，使其能夠廣泛應用于便攜式電子設備、穿戴式電子設備、車載電子設備等諸多領域中。同時，隨著智能手機等便攜式電子設備對顯示器提出了越來越高的分辨率要求，屏幕解析度的發展將達到超高清標準(Ultra High Definition)，分辨率的提高對成膜設備精度提出了更高的要求，這對現有OLED顯示器的制作技術形成了巨大的挑戰。

OLED顯示器中的發光層等功能層一般通過使用掩膜板的蒸鍍方法形成，蒸鍍方法能夠避免發光層中的有機材料與水汽、氧氣接觸而失效。隨著OLED顯示器的分辨率越來越高，用于蒸鍍的掩膜板的厚度越來越薄。一方面，掩膜板的厚度越薄，將掩膜板焊接在框架上的難度就越大，焊接的工藝參數越難以掌握，容易出現焊穿或焊不透的現象，進而使得掩膜板無法準確固定在框架上。另一方面，掩膜板的厚度越薄，掩膜板的剛度減弱，在將掩膜板拉平焊接在框架上時，容易出現褶皺現象，在后續蒸鍍過程中，發光區的位置就會發生偏移，比如預定顯示綠色的區域顯示別的顏色，產生混色現象。

為克服薄的掩膜板難以焊接在框架上的問題，現有的一種解決方法是增加焊接區的厚度而保持其他區域的厚度。圖1是現有的一種掩膜板的截面示意圖，參照圖1，該掩膜板10包括焊接區11和開口區12，焊接區11用于在蒸鍍時焊接在框架上，開口區12用于對顯示面板進行蒸鍍。該掩膜板10的開口區12保持較薄的厚度，焊接區11的厚度大于開口區12的厚度，這種方法能夠有效增加焊接區11的厚度，使掩膜板10較好地固定在框架上，存在的問題是，焊接區11與相鄰的用于蒸鍍的開口區12的交接處11A通常存在90度的直角階躍，當對掩膜板10的兩端施加拉力時，上述交接處11A會產生褶皺現象，并存在被拉斷的風險，不利于后續蒸鍍。

發明內容

針對現有技術中存在的問題，本發明的目的在于提供一種掩膜板，該掩膜板不僅能夠使掩膜板較好地焊接在框架上，而且能夠緩解對掩膜板施加拉力時產生的褶皺現象，避免被拉斷。

為實現上述目的，一方面，本發明提供一種掩膜板，用于對多個顯示面板進行蒸鍍，所述掩膜板包括：中央區域以及位于所述中央區域外圍的邊沿區域；

所述中央區域包括：

隔斷突起，所述隔斷突起在所述中央區域呈網格狀排布；

多個開口區，每個所述開口區位于所述隔斷突起的一個獨立網格內，每個所述開口區對應于單獨一個所述顯示面板的顯示區域，所述隔斷突起處的掩膜板的厚度大于所述開口區的掩膜板的厚度，所述隔斷突起具有自所述隔斷突起的頂壁向所述開口區傾斜延伸的側壁；以及

所述邊沿區域包括至少兩個焊接區，所述焊接區分別位于所述邊沿區域的一組對邊，所述焊接區的掩膜板的厚度大于所述開口區的掩膜板的厚度，所述焊接區具有自所述焊接區的頂壁向所述開口區傾斜延伸的側壁。

在一些實施例中，所述隔斷突起的傾斜延伸的側壁與所述隔斷突起的頂壁的交接處平滑過渡。

在一些實施例中，所述焊接區的傾斜延伸的側壁與所述焊接區的頂壁的交接處平滑過渡。