[發明專利]在測量工件的坐標時的誤差修正和/或避免

有效

• 申請號: 201710342877.2
• 申請日: 2011-07-08
• 公開（公告）號: CN107255462A
• 公開（公告）日: 2017-10-17
• 發明（設計）人: T·黑爾德;D·塞茨;R·薩格米勒;T·沃勒茨
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司工業測量技術有限公司
• 主分類號: G01B21/04
• 分類號: G01B21/04
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.用于測量工件的坐標和/或用于加工工件的組件，其中，該組件具有第一部分(201)和第二部分(202)，其中，該第一部分(201)和第二部分(202)是坐標測量儀的或工具機的同一臂的區域，這些區域在該臂的縱軸線的方向上處于不同的軸向位置上并且基于該臂的材料的機械彎曲和/或熱膨脹或熱收縮而能相對彼此運動，其中：

·沿所述縱軸線的方向延伸的長形延伸的元件(206；226)具有第一軸向端部，所述長形延伸的元件(206；226)沿所述縱軸線的方向延伸直至所述第一軸向端部并且該第一軸向端部在第一部分(201)與第二部分(202)相對運動時相對于所述第二部分(202)運動，

·所述長形延伸的元件(206；226)在沿所述縱軸線方向與所述第一軸向端部方向相反的第二軸向端部上與所述第一部分(201)連接，

·在所述長形延伸的元件(206；226)和所述第二部分上總共固定有多個傳感器(207；228，229)，

·一個測量體(208)固定在所述長形延伸的元件(206)上或固定在所述第二部分(202)上，或，多個測量體(224，225)固定在所述長形延伸的元件(226)上和/或固定在所述第二部分(202)上，其中，所述傳感器(207；228，229)中的每個傳感器配屬有一個測量體(208；224，225)，

·如果配屬給所述傳感器(207；228，229)中的一個傳感器的測量體(208；224，225)固定在所述長形延伸的元件(206；226)上，則所述一個傳感器(207；228，229)固定在所述第二部分(202)上，而如果配屬給所述傳感器(207；228，229)中的一個傳感器的測量體(208；224，225)固定在所述第二部分(202)上，則這一個傳感器(207；228，229)固定在所述長形延伸的元件(206；226)上，

·所述一個測量體(208；224，225)或所述多個測量體(208；224，225)中的至少一個作為共同的測量體(208；224，225)配屬給所述傳感器(207；228，229)中的多個傳感器，或，全部的所述多個測量體(224，225)分別配屬給所述傳感器(207；228，229)中的單個傳感器，使得所述傳感器(207；228，229)中的每個傳感器相應于所述測量體(208；224，225)的位置并從而相應于所述第一部分(201)和第二部分(202)的相對位置產生測量信號，并且，

·所述傳感器(207；228，229)與配屬的測量體構造得這樣測量所述第一部分(201)和第二部分(202)的相對位置，使得一評估裝置根據所述傳感器(207；228，229)的測量信號確定所述第一部分(201)和第二部分(202)至少關于三個運動自由度的相對位置和/或取向，其中，所述三個運動自由度包括在分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向上的兩個線性自由度和在所述臂的縱軸線方向上的線性自由度。

2.根據權利要求1所述的組件，其中，所述傳感器(207；228，229)與配屬的測量體構造得這樣測量所述第一部分(201)和第二部分(202)的相對位置，使得所述評估裝置根據所述傳感器(207；228，229)的測量信號確定所述第一部分(201)和第二部分(202)至少關于五個運動自由度的相對位置，其中，所述五個運動自由度包括在分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向上的兩個線性自由度、繞分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向的兩個旋轉自由度和在所述臂的縱軸線方向上的線性自由度。

3.根據權利要求1所述的組件，其中，第一測量體(224)和第二測量體(225)在所述縱軸線的方向上相互隔開間距地布置，其中，所述傳感器中的四個傳感器(228，229)構造得用于確定所述第一部分(201)相對于所述第二部分(202)的徑向相對位置，并且，所述四個傳感器(228，229)中的兩個傳感器(228a，228b)配屬給所述第一測量體(224)，所述四個傳感器(228，229)中的兩個傳感器(229a，229b)配屬給所述第二測量體(225)。