[發明專利]一種使用新型鋼線和溶劑進行硅錠切割工藝在審
| 申請號： | 201710340528.7 | 申請日： | 2017-05-15 |
| 公開（公告）號： | CN107116711A | 公開（公告）日： | 2017-09-01 |
| 發明（設計）人： | 李振華 | 申請（專利權）人： | 南通綜藝新材料有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 226000 江蘇省南通*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 使用 型鋼 溶劑 進行 切割 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.一種使用新型鋼線和溶劑進行硅錠切割工藝，其特征在于：包括如下步驟：上棒,將晶棒安裝上機——更換鋼線,安裝新型110um鋼線——換砂漿,將配置攪拌好的砂漿打入設備砂漿缸——切割前準備,檢查機床狀態,檢查工藝參數——切割——切割后處理；
所述切割中的砂漿由碳化硅和DEG按1：1的比例混合而成，所述碳化硅規格為1500號，直徑為8微米，所述DEG為二甘醇的水性切割溶劑。
2.根據權利要求1所述的使用新型鋼線和溶劑進行硅錠切割工藝，其特征在于：所述上棒為將硅棒利用膠水粘在玻璃上。
3.根據權利要求1所述的使用新型鋼線和溶劑進行硅錠切割工藝，其特征在于：所述切割時，帶動切割砂漿對硅錠進行研磨，最終將硅錠切割成200微米厚的硅片。
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