[發明專利]有機發光二極管顯示器及其制造方法

有效

• 申請號: 201710338749.0
• 申請日: 2017-05-15
• 公開（公告）號: CN107452768B
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發明（設計）人: 金成虎;許宗茂
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H10K59/12
• 分類號: H10K59/12;H10K50/816;H10K50/826;H10K71/00;H01L27/12
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 康泉;宋志強

本發明涉及一種有機發光二極管顯示器及其制造方法。所述有機發光二極管顯示器包括基底、半導體、柵電極、被連接到半導體的第一部分的源電極、被連接到半導體的第二部分的漏電極、以及被連接到漏電極的像素電極。源電極、漏電極和像素電極中的每個包括屏障金屬層、低電阻金屬層、金屬氧化物層、以及被設置在低電阻金屬層與金屬氧化物層之間的接觸輔助層。源電極、漏電極和像素電極各自具有臺階形狀。

相關申請的交叉引用

此申請要求2016年6月1日提交到韓國知識產權局的韓國專利申請第10-2016-0068341號的優先權和權益，其全部內容通過引用被整體合并于此。

技術領域

本公開涉及顯示設備，更具體地，涉及有機發光二極管顯示器及其制造方法。

背景技術

有機發光二極管(OLED)顯示器包括兩個電極和被插入在其間的有機發射層。從一個電極注入電子，從另一個電極注入空穴。電子和空穴在有機發射層內結合以產生激子。所產生的激子隨著它們衰減以光的形式釋放能量，以這種方式產生光。

OLED顯示設備通常包括多個像素。每個像素包括作為自發射器件的有機發光二極管，并且在每個像素中，形成用于驅動有機發光二極管的多個薄膜晶體管。在每個像素中還形成至少一個電容器。多個薄膜晶體管通常包括開關薄膜晶體管和驅動薄膜晶體管兩者。

通過執行使用多個掩模并/或多次使用相同的掩模的光刻工藝來制造電極、有機發射層、薄膜晶體管等。使用掩模的工藝顯著增加了制造成本，因此，隨著掩模數量的增加，制造成本增加。

發明內容

一種有機發光二極管顯示器包括基底、半導體、柵電極、被連接到半導體的第一部分的源電極、被連接到半導體的第二部分的漏電極、以及被連接到漏電極的像素電極。源電極、漏電極和像素電極中的每個包括屏障金屬層、低電阻金屬層、金屬氧化物層、以及被設置在低電阻金屬層與金屬氧化物層之間的接觸輔助層。源電極、漏電極和像素電極各自具有臺階形狀。

一種制造有機發光二極管顯示器的方法包括在基底上形成半導體。柵電極被形成在半導體上。層間絕緣層被形成在半導體和柵電極二者上。層間絕緣層被圖案化以形成暴露半導體的第一部分和第二部分的接觸孔。屏障金屬材料層、低電阻金屬材料層、接觸輔助材料層和金屬氧化物材料層被順序沉積在層間絕緣層上。通過對屏障金屬材料層、低電阻金屬材料層、接觸輔助材料層和金屬氧化物材料層進行圖案化，源電極被形成為被連接到半導體的第一部分，漏電極被形成為被連接到半導體的第二部分，像素電極被形成為被連接到半導體的第二部分。源電極、漏電極和像素電極各自被形成為具有第一層比第二層更寬的臺階形狀，第二層被直接設置在第一層上。

有機發光二極管顯示器包括基底。多層源電極被設置在基底上并且包括形成臺階形狀的多個層。多層柵電極被設置在基底上并且包括形成臺階形狀的多個層。多層像素電極被設置在基底上并且包括形成臺階形狀的多個層。

附圖說明

通過參考下面結合附圖考慮的詳細描述，對本公開及其許多附加方面的更完整的認識將由于其變得更好理解而容易得到，其中：

圖1是示出了根據本公開的示例性實施例的有機發光二極管顯示器的一個像素的電路圖；

圖2是示出了根據本公開的示例性實施例的有機發光二極管顯示器的兩個相鄰像素的布局圖；

圖3是沿圖2的線III-III截取的剖視圖；

圖4至圖10是示出了根據本公開的示例性實施例的制造有機發光二極管顯示器的方法的剖視圖；

圖11是示出了根據本公開的示例性實施例的有機發光二極管顯示器的剖視圖；

圖12至圖16是示出了根據本公開的示例性實施例的制造有機發光二極管顯示器的方法的剖視圖；