[發明專利]一種等離子刻蝕真空系統泵軸承工作液組合物

在審

• 申請號: 201710334655.6
• 申請日: 2017-05-12
• 公開（公告）號: CN107216933A
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發明（設計）人: 黃福川;胡雄風;李康春;鄧富康;趙金城
• 申請（專利權）人: 廣西大學
• 主分類號: C10M169/04
• 分類號: C10M169/04;C10N30/10;C10N30/12;C10N30/18;C10N40/02;C10N30/06
• 代理公司: 廣西南寧公平知識產權代理有限公司45104
• 代理人: 黃春蓮

技術領域

本發明一種等離子刻蝕真空系統泵工作液組合物屬于軸承潤滑劑領域。

背景技術

等離子刻蝕是干法刻蝕中最常見的一種形式，其原理是在使暴露的電子區域的氣體形成等離子體，由此而產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成等離子式離子。電離的氣體原子通過電磁場的加速，會獲得足夠的能量和表面動力，來粘合材料成蝕刻表面。同樣相似的離子情況實際上是等離子刻蝕的一種輕微程度的狀況。進行干式蝕刻工藝的成套設置包括：反應室、電源、真空系統。刻蝕工件是存入被真空系統抽吸戴真空狀的反應室內加工。氣體被導入并與等離子體進行交換。當等離子體在工件表面發生反應，反應過程中產生的揮發性物質被真空系統抽吸出來。等離子體刻蝕工藝其壓縮是一種反應性等離子工藝。被真空系統抽吸排出的揮發性物質，對其真空系統中的真空泵工作液會加速變質反應。

發明內容

本發明的目的是提供一種具有良好的熱氧化安定性、抗氧性、密封材料相溶性、低溫流動和擴散性、抗泡、抗乳化、抗氧防腐、防銹蝕性、抗輻射、抗強電磁場性能的等離子刻蝕真空系統泵工作液組合物。

本發明采用如下技術方案解決上述技術問題：

一種等離子刻蝕真空系統泵軸承工作液組合物，采用質量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油復合作為全合成復合基礎油，配合抗氧防腐劑和抗氧防銹劑，其各自質量百分數的成分組成為：

組分質量百分比含量基礎油余量抗氧防腐劑0.5％～1.5％抗氧防銹劑0.2％～0.6％

以上各組分的質量百分比含量為100％。

抗氧防腐劑是磷代三嗪。

抗氧防銹劑是全氟烷基二磷朵-對稱-三嗪。

本發明的優點在于：

本發明等離子刻蝕真空系統泵軸承工作液組合物具有良好的熱氧化安定性、抗氧性、密封材料相溶性、低溫流動和擴散性、抗泡、抗乳化、抗氧防腐、防銹蝕性、抗輻射、抗強電磁場性能。

具體實施方式

實施例1：

將下列各組分按百分比含量調和而成：

組分質量百分比含量質量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油復合98.5％磷代三嗪1.0％全氟烷基二磷雜-對稱-三嗪0.5％

實施例2：

將下列各組分按百分比含量調和而成：