[發(fā)明專利]一種振動(dòng)傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710334449.5
• 申請(qǐng)日: 2017-05-12
• 公開（公告）號(hào): CN106961649B
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甘立軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 佛山市合宏泰業(yè)科技有限公司
• 主分類號(hào): H04R9/06
• 分類號(hào): H04R9/06;H04R9/02
• 代理公司: 深圳市精英專利事務(wù)所 44242
• 代理人: 馮筠

1.一種振動(dòng)傳感器，其特征在于，所述振動(dòng)傳感器包括：

單晶硅基底；

形成于所述單晶硅基底的下表面的梯形開口，其是在所述單晶硅基底的下表面進(jìn)行刻蝕得到的；

形成于具有梯形開口的單晶硅基底上表面的波形多層結(jié)構(gòu)，所述波形多層結(jié)構(gòu)包括至少一組相對(duì)設(shè)置的結(jié)構(gòu)層，所述一組結(jié)構(gòu)層包括兩層結(jié)構(gòu)層，所述兩層結(jié)構(gòu)層中至少一層結(jié)構(gòu)層為波形；

形成于所述波形結(jié)構(gòu)層表面的電極層；

其中，所述至少一組結(jié)構(gòu)層構(gòu)造成在外力的作用下能夠發(fā)生相對(duì)位移，以檢測(cè)外界的振動(dòng)作用。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于，所述波形多層結(jié)構(gòu)包括兩組相對(duì)設(shè)置的結(jié)構(gòu)層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于，所述兩組結(jié)構(gòu)層中的一組結(jié)構(gòu)層包括相對(duì)設(shè)置的第一結(jié)構(gòu)層和第二結(jié)構(gòu)層，所述第一結(jié)構(gòu)層為波形，所述第二結(jié)構(gòu)層的截面為直線形；

所述兩組結(jié)構(gòu)層中的另一組結(jié)構(gòu)層包括相對(duì)設(shè)置的第三結(jié)構(gòu)層和第四結(jié)構(gòu)層，所述第三結(jié)構(gòu)層為波形，所述第四結(jié)構(gòu)層的截面為直線形。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第二結(jié)構(gòu)層設(shè)置成靠近所述第三結(jié)構(gòu)層。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第一結(jié)構(gòu)層設(shè)置成靠近所述第四結(jié)構(gòu)層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的振動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第一結(jié)構(gòu)層，其上具有多個(gè)第一孔口，所述第一孔口沿著垂直于所述第一結(jié)構(gòu)層的長(zhǎng)度方向延伸。