[發明專利]脆性材料基板的斷開方法及斷開裝置

有效

• 申請號: 201710332472.0
• 申請日: 2017-05-11
• 公開（公告）號: CN107866637B
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 井上修一
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/14;B23K26/064
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 玉昌峰;吳孟秋

1.一種脆性材料基板的斷開方法，其特征在于，包括：

通過像差激光束發光部件，使包括脈沖激光束的突發脈沖的激光束透過用于產生像差的像差生成透鏡而生成為像差激光束；

使包括所述像差激光束發光部件的第一劃線頭沿水平梁所具有的引導件移動，沿脆性材料基板的預定斷開線掃描所述像差激光束而形成改性層，所述水平梁設置在載置所述脆性材料基板的工作臺左右側的支柱上；以及

使包括斷開用激光束發光部件和冷卻劑噴射部件的第二劃線頭沿所述引導件移動，通過所述斷開用激光束發光部件沿所述改性層照射斷開用激光束，并通過所述冷卻劑噴射部件對所述斷開用激光束的照射點的前進方向前方側進行冷卻，從而沿所述預定斷開線將所述脆性材料基板斷開，

其中，所述像差激光束的光源為波長0.7μm～2.5μm的近紅外激光器、且采用脈沖寬度為100皮秒以下的激光束的突發脈沖，

其中，所述斷開用激光束為CO₂激光束。

2.根據權利要求1所述的脆性材料基板的斷開方法，其特征在于，

通過吹噴冷卻介質來對包括所述斷開用激光束的照射點的前進方向前方側的照射點周邊進行冷卻。

3.根據權利要求1或2所述的脆性材料基板的斷開方法，其特征在于，

所述斷開用激光束為波長10.6μm的CO₂激光束。

4.一種脆性材料基板的斷開裝置，其特征在于，包括：

工作臺，用于載置脆性材料基板；

像差激光束發光部件，使從光源射出的包括脈沖激光束的突發脈沖的激光束通過用于產生像差的像差生成透鏡而生成為像差激光束；

像差激光束發光部件移動機構，使所述像差激光束發光部件沿所述脆性材料基板的預定斷開線相對地移動；

斷開用激光束發光部件，沿被照射了所述像差激光束的所述預定斷開線照射斷開用激光束；

冷卻劑噴射部件，對所述斷開用激光束的照射點的激光束前進方向前方側進行冷卻；以及

斷開用激光束發光部件移動機構，使所述斷開用激光束發光部件以及所述冷卻劑噴射部件沿被照射了所述像差激光束的所述預定斷開線相對地移動，

其中，在所述工作臺的左右側的支柱上設置有具有引導件的水平梁，

包括所述像差激光束發光部件的第一劃線頭和包括所述斷開用激光束發光部件和所述冷卻劑噴射部件的第二劃線頭以能夠沿所述引導件移動的方式安裝于所述引導件上，

所述像差激光束的光源為波長0.7μm～2.5μm的近紅外激光器、且采用脈沖寬度為100皮秒以下的激光束的突發脈沖，

所述斷開用激光束為CO₂激光束。

5.根據權利要求4所述的脆性材料基板的斷開裝置，其特征在于，

所述冷卻劑噴射部件對包括所述斷開用激光束的照射點的激光束前進方向前方側的照射點周邊進行冷卻。