[發(fā)明專(zhuān)利]一種射線(xiàn)空間角定位儀

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710329569.6
• 申請(qǐng)日: 2017-05-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107192371A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王肖磊;宗東海;孫智江
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 海迪科（南通）光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01C1/00
• 分類(lèi)號(hào): G01C1/00
• 代理公司: 北京一格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11316
• 代理人: 滑春生

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于工業(yè)測(cè)量器件，特別涉及一種用于襯底與靶源射線(xiàn)間的射線(xiàn)空間角定位儀。

背景技術(shù)

隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和生活水平的提高，真空鍍膜技術(shù)已廣泛應(yīng)用于裝飾品、建筑材料、平板顯示、信息存儲(chǔ)、集成電路、外延及襯底加工等諸多領(lǐng)域。

以襯底加工領(lǐng)域?yàn)槔I(yè)用真空鍍膜機(jī)為確保產(chǎn)能，一次性對(duì)十幾甚至幾十片襯底同時(shí)進(jìn)行鍍膜加工。襯底通常在球型真空鍍膜罩中依次排列，由于球型鍍膜罩中不同襯底與水平面之間角度不同，將導(dǎo)致鍍膜的效果不同。此外，在科研領(lǐng)域中，鍍膜角度同樣是影響實(shí)驗(yàn)效果的因素之一。但是目前科研領(lǐng)域真空鍍膜普遍采用基片位于靶材正上方的方式進(jìn)行鍍膜，而對(duì)鍍膜角度的研究卻開(kāi)展的較少。

為了鍍膜工藝中的鍍膜質(zhì)量得以保證，需襯底與靶材間的角度一致且可以精確量化。由于鍍膜工藝中靶材是以放射狀附著在襯底上，因此要確保襯底與靶源射線(xiàn)間角度隨時(shí)保持一致是目前亟需解決的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠確保襯底與靶源射線(xiàn)間角度隨時(shí)保持一致的射線(xiàn)空間角定位儀。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種射線(xiàn)空間角定位儀，其創(chuàng)新點(diǎn)在于：包括一底座，在底座上活動(dòng)連接可360度旋轉(zhuǎn)的角度盤(pán)，所述角度盤(pán)上滑動(dòng)連接有可沿角度盤(pán)角度方向轉(zhuǎn)動(dòng)的可移動(dòng)伸縮臂，且在可移動(dòng)伸縮臂的上端面固定連接有角度定位盤(pán)。

進(jìn)一步地，所述角度盤(pán)為圓心角在30～180°的扇形結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述角度定位盤(pán)與可移動(dòng)伸縮臂之間的夾角可變，范圍為0～90°，以確定待測(cè)平面與角度盤(pán)圓心射線(xiàn)之間的角度。

進(jìn)一步地，所述角度盤(pán)與角度定位盤(pán)的精確度均為0.1～1°。

進(jìn)一步地，所述底座和角度定位盤(pán)的形狀均為圓形、橢圓或多邊形中的任一種。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：

(1)本發(fā)明射線(xiàn)空間角定位儀，當(dāng)?shù)鬃胖糜谒矫鏁r(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)可移動(dòng)伸縮臂并保證其時(shí)刻與角度盤(pán)上射線(xiàn)平行，控制待測(cè)平面與角度定位盤(pán)于平行時(shí)，待測(cè)平面與射線(xiàn)的角度即為所需角度；進(jìn)而通過(guò)該射線(xiàn)空間角定位儀可確保襯底與靶源射線(xiàn)間角度隨時(shí)保持一致且精確量 化，從而提高蒸鍍的工藝精度，進(jìn)一步提高鍍膜質(zhì)量；

(2)本發(fā)明射線(xiàn)空間角定位儀，其中，角度盤(pán)為圓心角在30～180°的扇形結(jié)構(gòu)，進(jìn)而可使襯底與靶源射線(xiàn)間角度的范圍值更廣，應(yīng)用于不同范圍值襯底與靶源射線(xiàn)間角度的控制；

(3)本發(fā)明射線(xiàn)空間角定位儀，其中，角度盤(pán)和角度定位盤(pán)的精確度為0.1～1°，該精確度的設(shè)置，可使角度的精確度更高，進(jìn)而使襯底與靶材間的角度可以精確量化，進(jìn)一步確保蒸鍍的工藝精度；

(4)本發(fā)明射線(xiàn)空間角定位儀，其中，底座和角度定位盤(pán)的形狀均為圓形、橢圓或多邊形中的任一種，形狀多樣化，不局限于某一種，只要滿(mǎn)足平面結(jié)構(gòu)要求。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

圖1為本發(fā)明射線(xiàn)空間角定位儀的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明可移動(dòng)伸縮臂結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面的實(shí)施例可以使本專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員更全面地理解本發(fā)明，但并不因此將本發(fā)明限制在所述的實(shí)施例范圍之中。

實(shí)施例

本實(shí)施例射線(xiàn)空間角定位儀，如圖1所示，包括一圓形底座1，在圓形底座1的上端設(shè)置有可360度旋轉(zhuǎn)的角度盤(pán)2，且角度盤(pán)2為圓心角在30～180°的扇形結(jié)構(gòu)，角度盤(pán)2的精確度為0.1～1°；圓形底座1中間設(shè)置有穿過(guò)角度盤(pán)2的旋轉(zhuǎn)軸，角度盤(pán)2圍繞旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行360度旋轉(zhuǎn)。

角度盤(pán)為圓心角在30～180°的扇形結(jié)構(gòu)，進(jìn)而可使襯底與靶源射線(xiàn)間角度的范圍值更廣，應(yīng)用于不同范圍值襯底與靶源射線(xiàn)間角度的控制。

在角度盤(pán)2上開(kāi)有沿角度盤(pán)2圓弧延伸方向設(shè)置的滑動(dòng)導(dǎo)槽21，且在角度盤(pán)2上還設(shè)置有可移動(dòng)伸縮臂3，可移動(dòng)伸縮臂3通過(guò)滑塊與滑動(dòng)導(dǎo)槽21滑動(dòng)連接，進(jìn)而使可移動(dòng)伸縮臂3可沿角度盤(pán)角度方向轉(zhuǎn)動(dòng)；可移動(dòng)伸縮臂3的上端面還固定連接有圓形角度定位盤(pán)4，角度定位盤(pán)4的精確度也為0.1～1°；其中，角度盤(pán)2和角度定位盤(pán)4的精確度均為0.1～1°，該精確度的設(shè)置，可使角度的精確度更高，進(jìn)而使襯底與靶材間的角度可以精確量化，進(jìn)一步確保蒸鍍的工藝精度。