[發明專利]一種有機樹脂及其制備方法、顯示基板及其制備方法有效
| 申請號: | 201710328882.8 | 申請日: | 2017-05-11 |
| 公開(公告)號: | CN107141484B | 公開(公告)日: | 2020-12-22 |
| 發明(設計)人: | 李海旭 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | C08G77/42 | 分類號: | C08G77/42;C09D183/10;C09D7/65;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司: | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;張天舒 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 有機 樹脂 及其 制備 方法 顯示 | ||
本發明提供一種有機樹脂及其制備方法、顯示基板及其制備方法,屬于顯示技術領域,其可解決現有的半色調工藝中酚醛樹脂形成的平坦化層容易在灰化中被損傷的問題。本發明的有機樹脂的原料中包括酚醛樹脂和有機硅,其中,有機硅分散相與酚醛樹脂間形成互穿網絡過渡層,使得產品有機樹脂的均勻性良好。更主要的是二者結合可增強樹脂強度,減少灰化過程的損傷。當其涂覆應用于顯示基板后,在后續的灰化工藝中,相較于現有的酚醛樹脂,本實施例的有機樹脂的損傷速率可降低30?50%。本發明的顯示基板適用于各種顯示裝置。
技術領域
本發明屬于顯示技術領域,具體涉及一種有機樹脂及其制備方法、顯示基板及其制備方法。
背景技術
半色調(Half tone)工藝是目前被普遍使用的一種可減少掩膜步驟方法,這種方法可節約生產時間,提高產能。例如,先采用酚醛樹脂形成圖案化的平坦化層,之后依次形成ITO層、金屬層、光刻膠,然后采用光刻膠進行灰化工藝,將ITO層、金屬層一步形成過孔。一般該灰化工藝中使用的氣體為O2,依靠O2產生的游離態氧原子以及氧離子作用在光刻膠上使光刻膠減薄。
發明人發現現有技術中至少存在如下問題:上述工藝中的酚醛樹脂與光刻膠同為有機樹脂,兩種物質的化學性質類似。因此,兩種物質在灰化過程中的反應速率基本一致,即在后續的灰化工藝中,先前形成的酚醛樹脂容易被損傷,經過工藝調整后,兩種物質的刻蝕速率的選擇比在好的情況才能達到0.8左右,難以滿足工藝需要。
發明內容
本發明針對現有的半色調工藝中酚醛樹脂形成的平坦化層容易在灰化中被損傷的問題,提供一種有機樹脂及其制備方法、顯示基板及其制備方法。
解決本發明技術問題所采用的技術方案是:
一種有機樹脂,包括以下重量份的原料:酚醛樹脂90-95份,有機硅5-10份。
優選的是,所述有機硅包括聚二甲基硅氧烷。
優選的是,所述有機樹脂包括以下結構式的聚合物:
其中,m為4-12之間的正整數,n為正整數。
優選的是,所述原料還包括:聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、纖維素衍生物中的任意一種或幾種。
優選的是,所述聚乙烯吡咯烷酮與所述酚醛樹脂的重量比為:(2-10):(90-98);所述聚乙烯醇與所述酚醛樹脂的重量比為:(2-10):(90-98);所述纖維素衍生物與所述酚醛樹脂的重量比為:(2-10):(90-98)。
本發明還公開一種有機樹脂的制備方法,包括以下步驟:
將有機樹脂的原料按重量份混合后于50-150℃的條件下加熱60-200s得到有機樹脂。
本發明還公開一種顯示基板,包括襯底,以及形成于襯底上方的平坦化層,所述平坦化層包括上述的有機樹脂形成的第一平坦化層。
優選的是,所述平坦化層還包括由酚醛樹脂形成的第二平坦化層,所述第二平坦化層相較于所述第一平坦化層更靠近襯底。
本發明還公開一種顯示基板的制備方法,包括以下步驟:
在襯底上形成平坦化層并曝光將所述平坦化層圖案化,其中,所述平坦化層包括由上述的有機樹脂形成的第一平坦化層;
在所述平坦化層上形成透明導電材料、金屬層;
在所述透明導電材料上形成光刻膠并刻蝕、灰化。
優選的是,所述第一平坦化層的曝光量為25-50mj,固化溫度為100-150℃,固化時間為100-200s。
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