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[發明專利]一種陰極用可視化微波燒結設備有效

專利信息
申請號: 201710328544.4 申請日: 2017-05-11
公開(公告)號: CN107144130B 公開(公告)日: 2019-04-19
發明(設計)人: 劉偉;田明創;李俊輝;王金淑 申請(專利權)人: 北京工業大學
主分類號: F27B14/06 分類號: F27B14/06;F27B14/14
代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203 代理人: 劉萍
地址: 100124 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 陰極 保溫裝置 剛玉坩堝 燒結 可視 微波燒結設備 加熱腔體 氣氛空間 微波燒結 氧化鎢層 可視化 微波源 能量轉換 紅外測溫裝置 氣氛控制系統 氧化鋁纖維棉 加厚 打火現象 隔熱底座 可控氣氛 腔體頂部 燒結過程 微波場強 小型微波 鈧鎢陰極 燒結爐 微波能 蓋子 不銹鋼 帶孔 二層 剛玉 高純 三層 微波 全程
【權利要求書】:

1.一種陰極用可視化微波燒結設備,其特征在于:包括可視保護氣氛空間(1)、微波燒結爐體(2)、微波源(3)、保溫裝置(4);所述微波燒結爐體(2)內置于可視保護氣氛空間(1)內;

所述可視保護氣氛空間(1)設置有進氣口(5)和排氣口,壓力示數表(6)以及真空泵(7);可視保護氣氛空間(1)使用有機玻璃,且兩端設置有進氣口(5)和排氣口;

所述微波源(3)安裝于所述微波燒結爐體(2)內部,微波燒結爐體頂部設置有紅外測溫裝置(8),底部設置有旋轉托盤(9),以及變壓裝置(10)和排風扇(11);變壓裝置(10)用于控制微波源(3);所述旋轉托盤(9)與一層剛玉坩堝底座(18)同為帶孔圓形,恰好鑲嵌;旋轉托盤(9)旋轉驅動裝置為電動馬達;所述排風扇(11)安裝于變壓裝置一側;

所述保溫裝置(4)設置有一層剛玉坩堝(12)、氧化鋁纖維棉(13)、剛玉坩堝蓋、二層剛玉坩堝(15)、氧化鎢層(16)及三層剛玉坩堝(17);所述二層剛玉坩堝(15)內置于一層剛玉坩堝(12),三層剛玉坩堝(17)內置于二層剛玉坩堝(15),一層坩堝底部加裝保溫底座(18);氧化鋁纖維棉(13)置于一層剛玉坩堝(12),二層剛玉坩堝(15)之間;氧化鎢層(16)置于二層剛玉坩堝(15),三層剛玉坩堝(17)之間;一層剛玉坩堝(12)、二層剛玉坩堝(15)、三層剛玉坩堝(17)頂部分別設置剛玉坩堝蓋;剛玉坩堝蓋設置有貫穿其厚度的紅外測溫孔。

2.根據權利要求1所述的一種陰極用可視化微波燒結設備,其特征在于:微波燒結爐體邊長為1/2微波導波波長倍數,使腔內保持諧振。

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