[發明專利]LED電極制作方法、LED電極和LED芯片

有效

• 申請號: 201710326901.3
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN107123594B
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 胡衛
• 申請（專利權）人: 湘能華磊光電股份有限公司
• 主分類號: H01L21/285
• 分類號: H01L21/285;H01L33/00;H01L33/40
• 代理公司: 11603 北京晟睿智杰知識產權代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 于淼<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種LED電極制作方法，其特征在于，通過電子束真空蒸發鍍膜的方式蒸鍍電極，其中，蒸鍍電極膜層的先后順序為Rh、Al、Ti、Pt、Ti、Pt和Au，其中，所述蒸鍍電極膜層的步驟包括：Rh層的蒸鍍厚度為鍍Rh時的蒸鍍速率為Al層的蒸鍍厚度為鍍Al時的蒸鍍速率為第一層Ti的蒸鍍厚度為鍍第一層Ti時的蒸鍍速率為第一層Pt的蒸鍍厚度為鍍第一層Pt時的蒸鍍速率為第二層Ti的蒸鍍厚度為鍍第二層Ti時的蒸鍍速率為第二層Pt的蒸鍍厚度為鍍第二層Pt時的蒸鍍速率為Au層的蒸鍍厚度為鍍Au時的蒸鍍速率為其中，通過電子束真空蒸發鍍膜的方式蒸鍍電極的步驟中，本底真空度為3×10^-6Pa。

2.根據權利要求1所述的LED電極制作方法，其特征在于，在蒸鍍電極之后包括制作電極保護層步驟：利用氣相成膜法在電極上沉積電極保護層，然后利用刻蝕方法刻蝕電極保護層露出電極焊點，形成電極保護層。

3.根據權利要求2所述的LED電極制作方法，其特征在于，所述電極保護層的材料為無機非金屬材料。

4.一種LED電極，其特征在于，所述LED電極由權利要求1～3任一項所述的LED電極制作方法制作而成。

5.一種LED芯片，其特征在于，包括權利要求4所述的LED電極。