[發明專利]多波長干涉測量中提高PZT相移調制起點對齊精度的方法

有效

• 申請號: 201710325737.4
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN107014310B
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 翟中生;周立;王選擇;呂清花;張艷紅;程壯;楊練根
• 申請（專利權）人: 湖北工業大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 武漢科皓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42222
• 代理人: 魏波

1.一種多波長干涉測量中提高PZT相移調制起點對齊精度的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：利用PZT實現相移，得到λ₁，λ₂，λ₃三種波長干涉圖樣；

步驟2：根據干涉圖樣得到各個波長粗對齊的初相位計算近波長相位差遠波長相位差其中x,y表示干涉圖樣中像素點的橫縱坐標值；

步驟3：根據單波長相位差近波長相位差遠波長相位差制定零級干涉條紋的相位判斷條件，找出滿足條件的所有點；

所述零級干涉條紋是指在如下的被測形貌高度h(x,y)表達式中：

將高度h(x,y)分h₁(x,y)和h₀(x,y)兩部分，分別對應波長的m_i級數倍和零級干涉條紋的高度，經過粗對齊后能夠保證m_i的準確性；

對于零級干涉，其級次m_i＝0，相應的作為λ_i的零干涉條紋分量，具有如下關系：

所述零級干涉條紋的相位判斷條件是：單波長相位差很小的點，兩個近波長相位差很小的點，兩個遠波長相位差也很小的點，且三個條件同時滿足；對于確定的波長λ₁，λ₂，λ₃，相位差很小的限制條件取明確的算術值；

步驟4：根據滿足零級干涉條紋所有點的相位，將λ₂，λ₃對應的初相位相對λ₁的初相位進行對齊，使得三種波長的相移起點位置一致；

步驟5：根據對齊后的相位值進行表面形貌高度計算。

2.根據權利要求1所述的多波長干涉測量中提高PZT相移調制起點對齊精度的方法，其特征在于：步驟1中所述利用PZT實現相移，實現相移的驅動方式包括“弓”字型路徑。

3.根據權利要求1所述的多波長干涉測量中提高PZT相移調制起點對齊精度的方法，其特征在于：步驟2中，粗對齊后的初相位相比不能超過半波長的相位π。

4.根據權利要求1所述的多波長干涉測量中提高PZT相移調制起點對齊精度的方法，其特征在于：如果λ₁<λ₂<λ₃，且λ₂-λ₁<λ₃-λ₂，則λ₃與λ₁的組合波長稱為遠波長，λ₂與λ₁的組合波長稱為近波長。