[發(fā)明專利]一種結(jié)構(gòu)光照明光學(xué)系統(tǒng)及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710325692.0
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號(hào): CN107037577A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐玉國;張運(yùn)海;肖昀
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G02B21/06
• 分類號(hào): G02B21/06;G02B27/09
• 代理公司: 深圳市科進(jìn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種結(jié)構(gòu)光照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，包括激光器、以及沿所述激光器出射的光束傳播方向依次設(shè)置的平頂高斯光束整形器、第一透鏡、第二透鏡、液晶空間光調(diào)制器、第三透鏡、通孔掩膜板及物鏡，其中：

所述激光器出射的任一束激光束經(jīng)所述平頂高斯光束整形器整形后形成一束能量均勻分布的平頂高斯光束，所述平頂高斯光束再經(jīng)所述第一透鏡及第二透鏡后入射到所述液晶空間光調(diào)制器，所述平頂高斯光束經(jīng)所述液晶空間光調(diào)制器衍射后生成衍射光，其中，所述衍射光包括±1級(jí)衍射光及0級(jí)衍射光；

所述衍射光經(jīng)所述第三透鏡和通孔掩膜板后，所述衍射光中的0級(jí)衍射光被遮擋且只允許±1級(jí)衍射光通過，所述±1級(jí)衍射光經(jīng)所述物鏡后并在所述物鏡的前焦面處發(fā)生干涉，形成均勻分布的干涉條紋。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)光照明光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，所述平頂高斯光束整形器的光出射平面、所述液晶空間光調(diào)制器的感光面和所述物鏡的前焦面屬于共軛面。

3.一種結(jié)構(gòu)光照明光學(xué)方法，其特征在于，包括下述步驟：

采用平頂高斯光束整形器對(duì)高斯分布的激光光束進(jìn)行整形，生成一束能量均勻分布的平頂高斯光束；

所述平頂高斯光束再依次經(jīng)第一透鏡、第二透鏡后入射到液晶空間光，所述平頂高斯光束經(jīng)所述液晶空間光調(diào)制器衍射后生成衍射光，其中，所述衍射光包括±1級(jí)衍射光及0級(jí)衍射光；

所述衍射光經(jīng)所述第三透鏡和通孔掩膜板后，所述衍射光中的0級(jí)衍射光被遮擋且只允許±1級(jí)衍射光通過；

所述±1級(jí)衍射光經(jīng)所述物鏡后并在所述物鏡的前焦面處發(fā)生干涉，形成均勻分布的干涉條紋。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的結(jié)構(gòu)光照明光學(xué)方法，其特征在于，所述平頂高斯光束整形器的光出射平面、所述液晶空間光調(diào)制器的感光面和所述物鏡的前焦面屬于共軛面。