[發明專利]擴束線偏振光光軸一致性、穩定性檢測系統及方法

有效

• 申請號: 201710325624.4
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN107328477B
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 王衛峰;陸衛國;肖茂森;徐峰;王海霞;蔡勇;王致強;劉愛敏
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G01J4/00
• 分類號: G01J4/00
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 陳廣民

本發明屬于精密測試計量技術領域，具體涉及一種擴束線偏振光光軸一致性、穩定性檢測系統及方法。該檢測系統包括檢測裝置、經緯儀和基準平面鏡；經緯儀用于準直檢測裝置和基準平面鏡；檢測裝置包括固定機構、旋轉機構、檢測機構和調平機構；檢測機構通過旋轉機構安裝于固定機構上，固定機構通過調平機構安裝于一個分度臺上；檢測機構包括檢測直角棱鏡和光電接收組件；檢測直角棱鏡用于引出被檢測偏振光光軸方位，光電接收組件用于檢測偏振光方位并將光信號轉換為電信號。采用本發明提供的擴束線偏振光光軸一致性、穩定性檢測系統及方法可以對經過擴束后線偏振光光軸的一致性和穩定性進行準確量度，提高了線偏振光技術的測量精度。

技術領域

本發明屬于精密測試計量技術領域，具體涉及一種擴束線偏振光光軸一致性、穩定性檢測系統及方法。

背景技術

在精密測試計量技術領域，偏振光技術應用非常廣泛，然而在應用過程中，對于經過擴束后線偏振光光軸的一致性、穩定性不明確，從而影響了最終的測量精度及其應用。

目前，應用線偏振光技術進行精密測量時，是將線偏振光作為基準來檢測目標相對于該基準的微小偏移量，或是根據偏振光經過目標后的狀態變化對目標進行測量。所以，擴束后線偏振光的性能對于測量非常關鍵，其光軸的一致性、穩定性將直接影響到測量的精度。

發明內容

為了解決現有的線偏振光技術無法對其光軸一致性和穩定性進行精確檢測的技術問題，本發明提供一種擴束線偏振光光軸一致性、穩定性檢測系統及方法

本發明的技術解決方案是：一種擴束線偏振光光軸一致性、穩定性檢測系統，其特殊之處在于：包括檢測裝置、經緯儀和基準平面鏡；所述經緯儀用于準直檢測裝置和基準平面鏡；

所述檢測裝置包括固定機構、旋轉機構、檢測機構和調平機構；所述檢測機構通過旋轉機構安裝于固定機構上，所述固定機構通過調平機構安裝于一個分度臺上；

所述檢測機構包括檢測直角棱鏡和光電接收組件；所述檢測直角棱鏡用于引出被檢測偏振光光軸方位，所述光電接收組件用于檢測偏振光方位并將光信號轉換為電信號。

進一步地，上述光電接收組件包括檢偏鏡和與檢偏鏡相連的光電轉換電路板。

進一步地，上述旋轉機構包括豎直設置于檢測機構和固定機構之間的密珠軸系以及與密珠軸系相適配的鎖緊微調旋鈕。

進一步地，上述調平機構包括位于固定機構底部的調平腳螺和位于檢測機構上的調平指示水泡。

本發明還提供一種擴束線偏振光光軸一致性、穩定性檢測方法，其特殊之處在于：包括以下步驟：

1)將檢測裝置置于調平后的分度臺上，使經過擴束后的被檢線偏振光中心對準檢測裝置的通光孔并將檢測裝置調平，將此位置記為中心位置I；執行步驟2)至步驟4)得到被檢線偏振光在中心位置I處的光軸穩定度δ_I以及被檢線偏振光在中心位置I處的光軸與基準平面鏡的方位夾角α_I；然后執行步驟5)；

2)轉動檢測裝置的旋轉機構，使檢測裝置上檢偏鏡的透光軸與被檢線偏振光光軸成90°夾角(即檢偏鏡光軸相對被檢測線偏振光光軸的消光位置)，并鎖緊旋轉機構的鎖緊微調旋鈕；使用經緯儀對檢測裝置旁邊的基準平面鏡進行準直測量，記錄此時經緯方位值為α_基準P，其中P代表不同的位置；經緯儀準直檢測裝置上檢測直角棱鏡的方位值為β₁；

3)保持檢測裝置、基準平面鏡及經緯儀位置不變，將旋轉機構轉動一定角度后再使檢測裝置上檢偏鏡的透光軸與被檢線偏振光光軸成90°夾角，將鎖緊旋鈕鎖緊，經緯儀準直檢測裝置上檢測直角棱鏡方位值為β₂；