[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710324641.6
• 申請(qǐng)日: 2013-04-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107256854B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 木原崇雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 瑞薩電子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L23/522
• 分類號(hào): H01L23/522;H01L23/64;H01F17/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳偉;王娟娟

本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體器件，具有：包含金屬布線(ML1)而形成的旋渦線狀電感器(20)；和包含金屬布線(ML1)而形成的馬蹄狀電感器(10)。馬蹄狀電感器(10)以使其開(kāi)口部位于旋渦線狀電感器(20)的相反側(cè)的方式配置。因此，能夠盡可能地減小從發(fā)送部輸出的無(wú)用波(雜波)。

本發(fā)明是申請(qǐng)日為2013年4月24日、申請(qǐng)?zhí)枮?01310163409.0、發(fā)明名稱為“半導(dǎo)體器件”的發(fā)明申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件，例如，能夠適合利用于具有可減少發(fā)送部的無(wú)用波(雜波：spurious)的構(gòu)造的半導(dǎo)體器件。

背景技術(shù)

像移動(dòng)電話、移動(dòng)信息終端(Personal Digital Assistant：PDA)、WiFi(注冊(cè)商標(biāo))(Wireless Fidelity)收發(fā)器、以及其他通信設(shè)備那樣的移動(dòng)通信設(shè)備通過(guò)各種頻率來(lái)收發(fā)通信信號(hào)。

尤其是，在移動(dòng)電話等中，使用了LTE(Long Term Evolution：長(zhǎng)期演進(jìn)技術(shù))/W-CDMA/GSM(注冊(cè)商標(biāo))三模式收發(fā)器等。

為了進(jìn)行有效的通信，收發(fā)信號(hào)的頻率比輸送要進(jìn)行通信的信息的基帶信息信號(hào)高出幾倍。因此，收發(fā)器必須使用調(diào)頻器來(lái)使發(fā)送信號(hào)升頻、使接收信號(hào)降頻。

這樣的收發(fā)器多由于小型化的需要而單芯片化，因此，也存在發(fā)送部和接收部的各電路成為彼此的噪聲產(chǎn)生原因的情況。尤其是，存在如下問(wèn)題：由于通過(guò)在各電路中流通的電流而產(chǎn)生的磁場(chǎng)的影響，在其他電路中感應(yīng)出電流。作為防止這樣的噪聲的技術(shù)，公開(kāi)有如下技術(shù)。

日本特開(kāi)2004-228144號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)的目的在于，在具有多個(gè)線圈的陣列式的線圈部件中，實(shí)現(xiàn)能夠抑制由電感器之間的磁耦合導(dǎo)致的傳感器自身的特性惡化的構(gòu)造。日本特開(kāi)2004-228144號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)所公開(kāi)的發(fā)明的線圈部件中，多個(gè)線圈在由絕緣體層層疊而成的層疊體的內(nèi)部沿與層疊方向垂直的方向相鄰地配置，線圈具有由直線狀導(dǎo)體構(gòu)成的大致旋渦形狀或大致螺旋形狀，在相鄰的線圈之間，在絕緣體層的同一面上鄰近且相對(duì)的直線狀導(dǎo)體在其延長(zhǎng)線上大致正交。

日本特開(kāi)2005-327931號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)的目的在于提供集成電感器及使用了該集成電感器的接收電路，能夠抑制由集成電感器之間的耦合導(dǎo)致的自混頻、進(jìn)而能夠?qū)崿F(xiàn)電路的簡(jiǎn)化、芯片尺寸及耗電的減少。日本特開(kāi)2005-327931號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)所公開(kāi)的發(fā)明為，在基板上至少具有兩層導(dǎo)體層，并具有由第1導(dǎo)體層形成且相鄰地配置的螺旋狀的第1及第2電感單元，上述第1及第2電感單元以使電流的流向彼此為相反方向的方式連接，在第1及第2電感單元與外部電路的連接中，至少具有兩處基于第2導(dǎo)體層的與第1導(dǎo)體層的交叉部。

尤其是，從接收部的本機(jī)振蕩器生成的信號(hào)的同相成分(共模)泄漏至發(fā)送部的變頻器、即正交調(diào)制器，從而存在與發(fā)送波的三倍高次諧波混頻而產(chǎn)生的雜波。

從該接收部的本機(jī)振蕩器生成的信號(hào)的泄露是由接收部的振蕩器的馬蹄狀電感器與正交調(diào)制器的旋渦線狀電感器的磁耦合引起的。

例如，在收發(fā)器以頻帶1(發(fā)送頻率：1920～1980MHz，接收頻率：2110～2170MHz)動(dòng)作的情況下，由于該無(wú)用波(雜波)落入GPS頻帶(1575.42MHz＝3﹡1955MHz―2﹡2145MHz，從接收部的本機(jī)振蕩器生成的信號(hào)的頻率為接收頻率的二倍)，所以存在使位于同一基板上的GPS接收器的接收靈敏度惡化的問(wèn)題。

日本特開(kāi)2004-228144號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)在現(xiàn)有技術(shù)中使兩個(gè)電感器的“く”字狀部相對(duì)配置，因此不區(qū)分同相成分或差動(dòng)成分地減小兩個(gè)電感器之間的信號(hào)的泄露。但是，沒(méi)有詳細(xì)研討在同相成分(共模)向旋渦線狀電感器泄露的情況下使無(wú)用波(雜波)減少的內(nèi)容。