[發明專利]MEMS微驅動器及其制作方法

有效

• 申請號: 201710320971.8
• 申請日: 2017-05-09
• 公開（公告）號: CN107128873B
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 趙全亮;何廣平;狄杰建;袁俊杰;宋維力;侯志靈;李明勇
• 申請（專利權）人: 北方工業大學
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81C1/00;H01H59/00
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;張杰

1.一種MEMS微驅動器，包括：

襯底；

形成于所述襯底上的相互并聯連接的第一傳輸部與第二傳輸部，其配置為同時接收并傳輸射頻信號；

形成于由所述第一傳輸部與第二傳輸部圍成的區域內的支撐層；

形成于所述支撐層上表面的下電極，其與驅動信號相連接；

形成于所述下電極上表面的驅動介質層；

形成于所述驅動介質層上表面的上電極，其與接地信號相連接；以及

形成于所述上電極上的第一開關觸點與第二開關觸點；

其中，所述驅動介質層被配置為：在由所述驅動信號與所述接地信號產生的電場的作用下發生彈性形變，以使得所述第一開關觸點和第二開關觸點分別與所述第一傳輸部和第二傳輸部相接觸，從而停止所述射頻信號的傳輸。

2.根據權利要求1所述的MEMS微驅動器，其特征在于，所述上電極包括固定區域、對應于所述第一開關觸點的第一觸點區域以及對應于所述第二開關觸點的第二觸點區域；

其中，所述上電極位于所述第一觸點區域的部分與位于所述第二觸點區域的部分分別延伸至所述第一傳輸部與第二傳輸部的上方；所述上電極位于所述固定區域的部分與所述驅動介質層的上表面固定連接。

3.根據權利要求2所述的MEMS微驅動器，其特征在于，所述第一開關觸點與所述第二開關觸點對稱設置。

4.根據權利要求3所述的MEMS微驅動器，其特征在于，所述上電極包括構成T字型的橫向電極和縱向電極，所述第一觸點區域與第二觸點區域分別位于所述橫向電極的兩端。

5.根據權利要求4所述的MEMS微驅動器，其特征在于，所述驅動介質層、所述下電極以及所述支撐層具有與所述上電極的固定區域相對應的T字型圖案。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的MEMS微驅動器，其特征在于，所述第一傳輸部與所述第二傳輸部相互對稱設置。

7.根據權利要求1至5中任一項所述的MEMS微驅動器，其特征在于，所述驅動介質層為反鐵電薄膜。

8.根據權利要求6所述的MEMS微驅動器，其特征在于，所述驅動介質層為反鐵電薄膜。

9.根據權利要求7所述的MEMS微驅動器，其特征在于，在所述驅動介質層與所述上電極之間還設置有粘附層。

10.根據權利要求8所述的MEMS微驅動器，其特征在于，在所述驅動介質層與所述上電極之間還設置有粘附層。

11.根據權利要求7所述的MEMS微驅動器，其特征在于，所述反鐵電薄膜的厚度為0.5-5μm。

12.根據權利要求8至10中任一項所述的MEMS微驅動器，其特征在于，所述反鐵電薄膜的厚度為0.5-5μm。

13.一種MEMS微驅動器的制作方法，包括：

在襯底的上表面上形成第一薄膜材料層；

在所述第一薄膜材料層上形成反鐵電膜層；

圖案化所述第一薄膜材料層與所述反鐵電膜層，以形成T字型下電極與T字型反鐵電梁；

在所述襯底與所述反鐵電梁上形成并圖案化第二薄膜材料層，以形成第一傳輸部、第二傳輸部與T字型上電極；

在所述襯底的上表面上形成支撐層以及設定深度的窗口區域；

在所述T字型上電極上形成分別延伸至所述第一傳輸部與第二傳輸部的上方的第一觸點區域與第二觸點區域；

在所述襯底的下表面形成對應于所述窗口區域的鏤空區域。