[發明專利]感光性絕緣組成物有效
| 申請號： | 201710320318.1 | 申請日： | 2017-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN108663900B | 公開（公告）日： | 2021-04-13 |
| 發明（設計）人： | 周宥佑;王懿玫;林世昌;陳秋風 | 申請（專利權）人： | 臺虹科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;H01L23/29 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 馬雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中國臺灣高雄市前*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 絕緣 組成 | ||
【權利要求書】：
1.一種感光性絕緣組成物，其特征在于，包括：
多官能環氧樹脂；
反應性內酯樹脂；
光酸起始劑，包括三芳香基锍四(五氟苯基)硼酸鹽；
改質劑，包括密著劑及流平劑；以及
溶劑，
其中，
所述多官能環氧樹脂由以下化學結構式表示：
其中R’為H或(OCH2CH)CH2－，n’為0至30的整數
以所述多官能環氧樹脂的總量為100重量份計，所述反應性內酯樹脂的含量為15重量份至20重量份，所述光酸起始劑的含量為0.5重量份至5重量份，所述密著劑的含量為1重量份至2重量份，所述流平劑的含量為0.2重量份至1重量份，所述溶劑的含量為0.5重量份至15重量份。
2.根據權利要求1所述的感光性絕緣組成物，其特征在于，所述光酸起始劑由以下化學結構式表示：
其中Ar為芳香基混合物。
3.根據權利要求1所述的感光性絕緣組成物，其特征在于，所述密著劑包括硅烷類偶合劑或鈦類偶合劑。
4.根據權利要求1所述的感光性絕緣組成物，其特征在于，所述流平劑包括含氟類化合物。
5.根據權利要求1所述的感光性絕緣組成物，其特征在于，所述溶劑包括丁酮與環戊酮。
6.根據權利要求1所述的感光性絕緣組成物，其特征在于，所述反應性內酯樹脂由以下化學結構式表示：
其中R為C或脂肪族烴，n為0或1。
7.根據權利要求1所述的感光性絕緣組成物，其特征在于，所述感光性絕緣組成物用于半導體材料或電子材料。
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