[發明專利]利用飛秒激光微加工系統誘導長磷光光譜的測量方法

有效

• 申請號: 201710320235.2
• 申請日: 2017-05-09
• 公開（公告）號: CN106970060B
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 錢靜;趙全忠
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種利用飛秒激光微加工系統誘導長磷光光譜的測量方法，該飛秒激光微加工系統包括飛秒激光微加工裝置、顯微光譜收集裝置及溫控裝置；所述的顯微光譜收集裝置包括第一微透鏡、光纖、第二微透鏡以及光譜儀，所述的第一微透鏡和第二微透鏡均設有螺紋接口，通過螺紋接口與光纖的兩端相連；所述的溫控裝置包括容器、固定在該容器內的樣品臺、蒸餾水以及可調節溫度的智能加熱棒；所述的飛秒激光微加工裝置包括飛秒激光器、反射飛秒激光的二向色鏡、聚焦飛秒激光的顯微物鏡、載物臺和反射鏡；所述的容器放在載物臺上；其特征在于，該方法包括步驟如下：

①將樣品放置在樣品臺上，使蒸餾水淹沒樣品；

②啟動飛秒激光器，使飛秒激光器出射的飛秒激光經二向色鏡反射到顯微物鏡中，然后經顯微物鏡聚焦到樣品內部，此時調節蒸餾水的水溫為0℃，對載物臺進行三維移動，實現對樣品的精密加工，被激光加工的區域在0℃下不發光；

③加工結束后，將水溫加熱至室溫，此時樣品被加工的區域發出長磷光，長磷光被顯微物鏡搜集后，透過二向色鏡，被反射鏡反射到第一微透鏡中，該第一微透鏡將長磷光聚焦耦合到光纖中，再通過第二微透鏡將長磷光導入到光譜儀的狹縫中，測量出室溫下的光譜；

④每隔n分鐘光譜儀采集一次長磷光光譜，直到光譜不被探測到；

⑤用作圖軟件計算出每個時刻對應的光譜積分強度，得到光譜積分強度隨時間衰減圖，并作非線性擬合。

2.根據權利要求1所述的利用飛秒激光微加工系統誘導長磷光光譜的測量方法，其特征在于飛秒激光加工后，將水溫升至任意溫度，重復權利要求1中步驟④和⑤，可以測量該溫度下的長磷光光譜隨時間的變化。