[發明專利]計算版圖中線寬固定節距不同的線條的分布的方法有效
| 申請號： | 201710318781.2 | 申請日： | 2017-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN107103145B | 公開（公告）日： | 2020-11-20 |
| 發明（設計）人： | 朱忠華;王偉斌;魏芳;朱駿;張旭升 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G06F30/392 | 分類號： | G06F30/392;G06F111/16 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 計算 版圖 中線 固定 不同 線條 分布 方法 | ||
1.一種計算版圖中線寬固定節距不同的線條的分布的方法，用于在原始版圖設計中計算出節距在(0，D+S1]，(D+S1，D+S2]，……(D+Sn-1，D+Sn]，(D+Sn，+∞)的線條的分布，其中D為線條的固定線寬，S1，S2，……Sn為所述原始版圖設計數據中具有的節距，且0S1S2……Sn+∞，其特征在于，在原始版圖設計中篩選出節距為(D+SX-1，D+SX]中線條的分布的方法為選取固定線寬為D的線條中與自身距離最近且該距離符合(D+SX-1，D+SX]的相鄰線條，將所述相鄰線條在該固定線寬為D的線條上投影，投影形成的線段即歸類為節距為(D+SX-1，D+SX]中的線條，記為Ax，其中x＝1,2……n；其中，包括以下步驟：
步驟一：在所有固定線寬為D的線條中篩選出節距為(0，D+S1]的線條，將其記為A1；
步驟二：在所述原始版圖設計中排除A1后篩選出節距為(D+S1，D+S2]的線條，將其記為A2；
步驟三：重復步驟二，在排除上一步驟得到的線條后篩選出節距分別在(D+S2，D+S3]、……(D+Sn-1，D+Sn]、(D+Sn，+∞)的線條，各自記為A3、……An；
步驟四：統計A1、A2……An中各自的線條的數量。
2.如權利要求1所述的計算版圖中線寬固定節距不同的線條的分布的方法，其特征在于，步驟一中篩選出節距為(0，D+S1]的線條的方法為：
選取固定線寬為D的線條中與自身距離最近且該距離符合(0，D+S1]的相鄰線條，將所述相鄰線條在該固定線寬為D的線條上投影，投影形成的線段即歸類為A1。
3.如權利要求2所述的計算版圖中線寬固定節距不同的線條的分布的方法，其特征在于，步驟二中在所述原始版圖設計中排除A1后使用與步驟一中相同的方法篩選出節距為(D+S1，D+S2]的線條。
4.如權利要求1所述的計算版圖中線寬固定節距不同的線條的分布的方法，其特征在于，步驟四中使用來描述節距為(D+SX-1，D+SX]中線條的分布，其中Ax為篩選出的節距為(D+SX-1，D+SX]的線條。
5.如權利要求1所述的計算版圖中線寬固定節距不同的線條的分布的方法，其特征在于，所述固定線寬D為固定數值或者數值范圍。
6.如權利要求5所述的計算版圖中線寬固定節距不同的線條的分布的方法，其特征在于，所述固定線寬D大于所述原始版圖設計中最小關鍵尺寸。
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