[發明專利]目檢裝置

有效

• 申請號: 201710317403.2
• 申請日: 2017-05-05
• 公開（公告）號: CN108802059B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 孫超;馮晨麗;劉源
• 申請（專利權）人: 上海新昇半導體科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;H01L21/66
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種目檢裝置，其特征在于，所述目檢裝置包括：

目檢腔室，所述目檢腔室上設有透明觀測窗口，所述透明觀測窗口包括透明基板及覆蓋于所述透明基板內表面的增透膜；

夾持裝置，位于所述目檢腔室內，適于夾持待檢測晶圓，并帶動所述待檢測晶圓以任意角度旋轉；

光源，位于所述目檢腔室內，且位于所述夾持裝置遠離所述透明觀測窗口的一側，適于提供照射至所述待檢測晶圓表面的觀測光；其中，

所述增透膜適于對所述觀測光增透。

2.根據權利要求1所述的目檢裝置，其特征在于：所述觀測光為白光，所述增透膜為白光增透膜。

3.根據權利要求1所述的目檢裝置，其特征在于：所述觀測光包括黃光，所述增透膜包括黃光增透膜。

4.根據權利要求3所述的目檢裝置，其特征在于：所述觀測光還包括白光，所述增透膜還包括白光增透膜。

5.根據權利要求4所述的目檢裝置，其特征在于：所述透明基板的數量為兩個，其中，一個所述透明基板的內側覆蓋有黃光增透膜，另一個所述透明基板的內側覆蓋有白光增透膜。

6.根據權利要求5所述的目檢裝置，其特征在于：覆蓋有所述黃光增透膜的透明基板位于覆蓋有所述白光增透膜的透明基板的內側。

7.根據權利要求6所述的目檢裝置，其特征在于：所述目檢裝置還包括第一升降裝置，所述第一升降裝置與覆蓋有所述黃光增透膜的透明基板相連接，適于在所述觀測光為白光時將覆蓋有所述黃光增透膜的透明基板提升至覆蓋有所述白光增透膜的透明基板的上方，并在所述觀測光為黃光時將覆蓋有所述黃光增透膜的透明基板復位。

8.根據權利要求5所述的目檢裝置，其特征在于：所述目檢裝置還包括第一升降裝置及第二升降裝置，所述第一升降裝置與覆蓋有所述黃光增透膜的透明基板相連接，所述第二升降裝置與覆蓋有所述白光增透膜的透明基板相連接；其中，

當所述觀測光為白光時，覆蓋有所述白光增透膜的透明基板作為透明觀測窗口，所述第一升降裝置將覆蓋有所述黃光增透膜的透明基板提升至覆蓋有所述白光增透膜的透明基板的上方；

當所述觀測光為黃光時，所述第一升降裝置將覆蓋有所述黃光增透膜的透明基板復位作為透明觀測窗口，所述第二升降裝置將覆蓋有所述白光增透膜的透明基板提升至覆蓋有所述黃光增透膜的透明基板的上方。

9.根據權利要求 1所述的目檢裝置，其特征在于：所述增透膜的材料包括MgF₂、CaF₂、SiO₂、KCl、Al₂O₃或TiO₂中的至少一種。

10.根據權利要求1所述的目檢裝置，其特征在于：所述夾持裝置包括：

旋轉夾緊環，適于夾持所述待檢測晶圓；

驅動裝置，與所述旋轉夾緊環相連接，適于驅動所述旋轉夾緊環帶動所述待檢測晶圓以任意角度旋轉。

11.根據權利要求1至10中任一項所述的目檢裝置，其特征在于：所述目檢裝置還包括：

裝載臺，位于所述目檢腔室外側，適于加載裝有所述待檢測晶圓的晶圓盒；

機械手臂，位于所述目檢腔室內，適于在目檢時將所述待檢測晶圓從所述晶圓盒內抓取至所述夾持裝置上，并在目檢結束后將所述待檢測晶圓從所述夾持裝置上傳送回所述晶圓盒內。