[發(fā)明專利]NiO復合薄膜、量子點發(fā)光器件及其制備和應用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710316255.2
• 申請日: 2017-05-08
• 公開（公告）號: CN107240624B
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設計）人: 楊緒勇;曹璠
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/06;H01L33/14;H01L33/26
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 顧勇華

1.一種M金屬摻雜NiO的復合材料薄膜，其特征在于：由M金屬摻雜NiO的M:NiO薄膜層和NiO薄膜層復合而成具有NiO成分梯度的M:NiO/NiO結構形式的復合材料薄膜，其中M金屬為Li、Mg和Cu中的任意一種金屬或合金，M金屬摻雜NiO薄膜層中M摻雜摩爾比例為1～5mol％；

所述M金屬摻雜NiO的復合材料薄膜的制備方法包括如下步驟：

a.M金屬鹽采用乙酸銅、氯化鋰和乙酸鎂中的任意一種鹽或任意幾種的混合鹽，將0.03～0.97mmol的乙酸鎳四水合物和0.03～0.97mmol的M金屬鹽混合并溶解于至少10ml無水乙醇中，邊攪拌邊滴加至少60.4μl乙醇胺作為穩(wěn)定劑，在不高于70℃溫度下攪拌至少4h，之后在室溫下攪拌至少8h，得到M金屬:NiO混合漿液，備用；

b.將1mmol乙酸鎳四水合物溶解于至少10ml無水乙醇中，邊攪拌邊滴加至少60.4μl乙醇胺作為穩(wěn)定劑，在不高于70℃溫度下攪拌至少4h，之后在室溫下攪拌至少8h，得到NiO漿液，備用；

c.用移液槍吸取120μl的在所述步驟a中制備的M:NiO漿液在襯底上，以不低于4000rpm的速度進行旋涂至少50s，在襯底上制備M:NiO涂覆液膜，并在空氣中于不低于400℃溫度下對M:NiO涂覆液膜干燥固化，然后進行退火至少20min，得到M:NiO固化膜，待M:NiO固化膜冷卻至室溫后，再進行O₃-Plasma處理至少3min；

d.在所述步驟c中制備的M:NiO固化膜經過O₃-Plasma處理后，再用移液槍吸取120μl在所述步驟b中制備NiO漿液，以不低于5000rpm的速度進行旋涂至少50s，在M:NiO固化膜上繼續(xù)涂覆NiO液膜，并在空氣中不低于275℃溫度下對NiO液膜干燥固化，然后進行退火至少30min，即完成M:NiO/NiO復合薄膜的制備。

2.根據(jù)權利要求1所述M金屬摻雜NiO的復合材料薄膜，其特征在于：M:NiO/NiO復合材料薄膜厚度為30～40nm。

3.根據(jù)權利要求2所述M金屬摻雜NiO的復合材料薄膜，其特征在于：當M金屬為Cu時，Cu:NiO/NiO結的復合材料薄膜的厚度為35～40nm；當M金屬為Li時，Li:NiO/NiO復合材料薄膜的厚度為30～40nm；當M金屬為Mg時，Mg:NiO/NiO復合薄膜的厚度為30～40nm。

4.一種權利要求1所述M金屬摻雜NiO的復合材料薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

a.M金屬鹽采用乙酸銅、氯化鋰和乙酸鎂中的任意一種鹽或任意幾種的混合鹽，將0.03～0.97mmol的乙酸鎳四水合物和0.03～0.97mmol的M金屬鹽混合并溶解于至少10ml無水乙醇中，邊攪拌邊滴加至少60.4μl乙醇胺作為穩(wěn)定劑，在不高于70℃溫度下攪拌至少4h，之后在室溫下攪拌至少8h，得到M金屬:NiO混合漿液，備用；

b.將1mmol乙酸鎳四水合物溶解于至少10ml無水乙醇中，邊攪拌邊滴加至少60.4μl乙醇胺作為穩(wěn)定劑，在不高于70℃溫度下攪拌至少4h，之后在室溫下攪拌至少8h，得到NiO漿液，備用；

c.用移液槍吸取120μl的在所述步驟a中制備的M:NiO漿液在襯底上，以不低于4000rpm的速度進行旋涂至少50s，在襯底上制備M:NiO涂覆液膜，并在空氣中于不低于400℃溫度下對M:NiO涂覆液膜干燥固化，然后進行退火至少20min，得到M:NiO固化膜，待M:NiO固化膜冷卻至室溫后，再進行O₃-Plasma處理至少3min；

d.在所述步驟c中制備的M:NiO固化膜經過O₃-Plasma處理后，再用移液槍吸取120μl在所述步驟b中制備NiO漿液，以不低于5000rpm的速度進行旋涂至少50s，在M:NiO固化膜上繼續(xù)涂覆NiO液膜，并在空氣中不低于275℃溫度下對NiO液膜干燥固化，然后進行退火至少30min，即完成M:NiO/NiO復合薄膜的制備。