[發(fā)明專(zhuān)利]在線(xiàn)改良晶圓表面平坦度的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710312284.1
• 申請(qǐng)日: 2017-05-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107195547B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王佩佩;李弘愷;金軍;路新春;沈攀
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 清華大學(xué);天津華海清科機(jī)電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/321
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/321;H01L21/66;H01L21/768
• 代理公司: 11201 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 黃德海

1.一種在線(xiàn)改良晶圓表面平坦度的方法，所述方法應(yīng)用于旋轉(zhuǎn)型CMP設(shè)備上，其特征在于，所述CMP設(shè)備包括拋光頭及其壓力在線(xiàn)調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，所述拋光頭包括多個(gè)壓力分區(qū)，所述方法包括：

確定晶圓表面材料層上的基準(zhǔn)區(qū)；

獲取所述多個(gè)壓力分區(qū)對(duì)應(yīng)的晶圓表面分區(qū)的材料層厚度值；

根據(jù)所述基準(zhǔn)區(qū)的材料層厚度值與其余各分區(qū)的材料層厚度值，將所述其余各分區(qū)的材料層厚度值分別與所述基準(zhǔn)區(qū)的材料層厚度值相差，得到所述其余各分區(qū)與所述基準(zhǔn)區(qū)之間的厚度偏差；

判斷當(dāng)前分區(qū)與所述基準(zhǔn)區(qū)之間的厚度偏差是否大于第一閾值；

如果所述當(dāng)前分區(qū)與所述基準(zhǔn)區(qū)之間的厚度偏差大于所述第一閾值，則計(jì)算所述各壓力分區(qū)的當(dāng)前壓力值與預(yù)設(shè)的壓力調(diào)節(jié)量之間的和值，并將所述和值作為所述當(dāng)前分區(qū)對(duì)應(yīng)的壓力分區(qū)新的壓力值；

如果所述當(dāng)前分區(qū)與所述基準(zhǔn)區(qū)之間的厚度偏差小于或等于所述第一閾值，則進(jìn)一步判斷所述當(dāng)前分區(qū)與所述基準(zhǔn)區(qū)之間的厚度偏差是否大于或等于第二閾值，其中，所述第一閾值大于所述第二閾值；

如果所述當(dāng)前分區(qū)與所述基準(zhǔn)區(qū)之間的厚度偏差大于或等于所述第二閾值，則將所述各壓力分區(qū)的當(dāng)前壓力值作為所述當(dāng)前分區(qū)對(duì)應(yīng)的壓力分區(qū)新的壓力值；

如果所述當(dāng)前分區(qū)與所述基準(zhǔn)區(qū)之間的厚度偏差小于所述第二閾值，則計(jì)算所述各壓力分區(qū)的當(dāng)前壓力值與所述壓力調(diào)節(jié)量之間的差值，并將所述差值作為所述當(dāng)前分區(qū)對(duì)應(yīng)的壓力分區(qū)新的壓力值；

根據(jù)所述各壓力分區(qū)新的壓力值，控制所述拋光頭對(duì)所述晶圓表面進(jìn)行材料去除。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述各壓力分區(qū)的壓力調(diào)節(jié)量、所述第一閾值以及所述第二閾值的大小分別由所述各壓力分區(qū)與所述晶圓表面對(duì)應(yīng)分區(qū)去除率之間的關(guān)系及工藝需求所確定。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述多個(gè)壓力分區(qū)為5個(gè)，每個(gè)壓力分區(qū)的形狀為環(huán)狀。