[發明專利]基于量子阱結構的光開關器件

有效

• 申請號: 201710312256.X
• 申請日: 2017-05-05
• 公開（公告）號: CN107248536B
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發明（設計）人: 楊春;宋振杰;賈少鵬
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: H01L31/0352
• 分類號: H01L31/0352;H01L31/11
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種基于量子阱結構的光開關器件，其特征在于：包括襯底(1)，襯底上生長緩沖層(2)，緩沖層上生長量子阱有源層；其中，量子阱有源層從上到下依次包括第一勢壘層(8)、第一隔離層(7)、第一溝道層(6)、第二溝道層(5)、第二隔離層(4)和第二勢壘層(3)。

2.根據權利要求1所述的基于量子阱結構的光開關器件，其特征在于：第二溝道層為空穴阱或電子阱。

3.根據權利要求1所述的基于量子阱結構的光開關器件，其特征在于：量子阱有源層上表面設有共面波導電極，包括第一電極(9)，第二電極(10)，第三電極(11)，第四電極(12)，第五電極(17)和第六電極(18)；

第三電極(11)和第四電極(12)與量子阱有源層上表面為歐姆接觸，與第二溝道層連通，并與第一勢壘層、第一隔離層、第一溝道層通過絕緣層隔離。

4.根據權利要求1所述的基于量子阱結構的光開關器件，其特征在于：光信號從器件上表面入射或器件下表面入射或同時從上、下表面入射。

5.根據權利要求1所述的基于量子阱結構的光開關器件，其特征在于：第一溝道層(6)和第二溝道層(5)之間分布有光吸收夾層(21)。

6.根據權利要求3所述的基于量子阱結構的光開關器件，其特征在于：第一電極(9)和第二電極(10)為叉指型電極結構。

7.根據權利要求4所述的基于量子阱結構的光開關器件，其特征在于：光信號是單波長光信號，是一個調制光信號；或者是含有多個光波長的光信號，每個光波長的幅度和相位都可以被調制；或者是用于控制的光脈沖和被調制的光信號的拍頻信號。

8.根據權利要求1所述的基于量子阱結構的光開關器件，其特征在于：器件的上表面和下表面設有增加光信號透過率的增透膜。