[發明專利]一種用于透射式光學系統傾斜小角度的裝置及使用方法

有效

• 申請號: 201710306942.6
• 申請日: 2017-05-04
• 公開（公告）號: CN106950674B
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發明（設計）人: 王方;胡東霞;劉長春;張鑫;林東暉;康民強;鄧穎;粟敬欽;鄭奎興;朱啟華;鄭萬國
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G02B27/00;G02B27/62
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 劉洪勛

1.一種用于透射式光學系統傾斜小角度的裝置，其特征在于，包括：

光源組件，其包括五維調整臺和激光器；

光學系統組件，其包括調試基準臺、夾持件和透射式光學系統，所述透射式光學系統包括物方節點和像方節點，其通過夾持件與調試基準臺連接；

小孔組件，其包括位于透射式光學系統光軸上的第一小孔、第二小孔和第三小孔，所述第一小孔、光學系統組件、第二小孔和第三小孔沿著激光束的傳輸方向依次排列，所述小孔組件下方設置有二維調整臺；

以及檢測組件，其位于透射式光學系統的光軸外側，所述檢測組件與小孔組件對應設置，用于檢測激光束是否位于小孔組件的中心；

使用時，調節二維調整臺，促使第一小孔、第二小孔和第三小孔位于透射式光學系統的光軸上，調整五維調整臺，促使激光器輸出的激光束同時穿過第一小孔、第二小孔和第三小孔，并使用檢測組件對小孔組件上的光斑位置進行監視，確保光斑位于小孔組件的中心處，降低第二小孔和第三小孔相同高度，調節透射式光學系統的姿態使其傾斜小角度，保證激光束再次同時穿過第二小孔和第三小孔，且光斑位于小孔組件的中心處。

2.根據權利要求1所述的一種用于透射式光學系統傾斜小角度的裝置，其特征在于，所述激光器位于五維調整臺上，其輸出平行激光束，所述激光束的直徑為3mm-5mm。

3.根據權利要求1所述的一種用于透射式光學系統傾斜小角度的裝置，其特征在于，所述小孔組件的孔徑為0.2mm-5mm，所述第一小孔與第二小孔的間距以及第二小孔與第三小孔的間距均為200mm-1500mm。

4.根據權利要求1-3任一所述的一種用于透射式光學系統傾斜小角度的裝置，其特征在于，所述檢測組件包括第一攝像頭、第二攝像頭和第三攝像頭，其中，所述第一攝像頭與第一小孔對應設置，所述第二攝像頭與第二小孔對應設置，所述第三攝像頭與第三小孔對應設置。

5.根據權利要求4所述的一種用于透射式光學系統傾斜小角度的裝置，其特征在于，所述二維調整臺和五維調整臺的調整精度均優于0.01mm。

6.根據權利要求4所述的一種用于透射式光學系統傾斜小角度的裝置，其特征在于，所述小孔組件為鋁制結構或鋼制結構。

7.根據權利要求1所述的一種用于透射式光學系統傾斜小角度的裝置，其特征在于，所述透射式光學系統的物方節點和像方節點距離為L，激光束入射到物方節點上后經像方節點出射，降低第二小孔和第三小孔相同高度h并調節透射式光學系統的姿態后，入射激光束與透射式光學系統的光軸夾角為α，出射激光束與透射式光學系統的光軸夾角為β，且，入射激光束與出射激光束在垂直于激光束的方向上產生位移量d，且，其中，α為透射式光學系統需要傾斜的小角度。

8.根據權利要求7所述的一種用于透射式光學系統傾斜小角度的裝置，其特征在于，根據透射式光學系統需要傾斜的小角度α，計算出第二小孔和第三小孔的下降高度h并調節高度，調節透射式光學系統的姿態，使激光束再次同時穿過第二小孔和第三小孔，并確保光斑位于小孔組件的中心處，此時，透射式光學系統的姿態即為其傾斜小角度后的姿態。