[發明專利]夾具系統以及固定靶材組件的方法

有效

• 申請號: 201710305285.3
• 申請日: 2017-05-03
• 公開（公告）號: CN108789205B
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;羅明浩;呂培聰
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 徐文欣;吳敏

一種夾具系統以及固定靶材組件的方法，其中方法包括：提供靶材組件；提供夾具系統，夾具系統包括：基底，基底包括核心區域和核心區域周圍的邊緣區域；固定于邊緣區域的自動壓板夾；自動壓板夾包括：壓桿，壓桿具有相對的第一壓桿端和第二壓桿端；固定于邊緣區域的活塞裝置，活塞裝置與第二壓桿端可活動連接，活塞裝置用于通過控制第一壓桿端以活塞裝置和第二壓桿端的連接處為中心進行轉動而調節第一壓桿端至基底的距離，以使第一壓桿端能朝向核心區域和遠離核心區域運動；將靶材組件置于核心區域上；之后采用活塞裝置控制第一壓桿端朝向核心區域運動并施壓于靶材組件。所述方法能夠提高工藝質量和工藝效率。

技術領域

本發明涉及靶材組件加工領域，尤其涉及一種夾具系統以及固定靶材組件的方法。

背景技術

靶材組件包括靶材、以及與靶材結合并具有一定結合強度的背板。背板在所述靶材組件裝配至濺射基臺中起到支撐作用，并具有傳導熱量的功效。為了實現將所述靶材組件安裝在濺射基臺的目的，通常在背板的底部安裝有連接部件，采用連接部件將背板和濺射基臺相互連接并相互固定。

在背板的底部安裝連接部件的過程中，需要將靶材組件固定。

然而，現有技術中固定靶材組件的工藝質量較差且工藝效率較低。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種夾具系統以及固定靶材組件的方法，以提高工藝質量和工藝效率。

為解決上述問題，本發明提供一種固定靶材組件的方法，包括：提供靶材組件；提供夾具系統，所述夾具系統包括：基底，基底包括核心區域和位于核心區域周圍的邊緣區域；固定于邊緣區域的自動壓板夾；所述自動壓板夾包括：壓桿，壓桿具有相對的第一壓桿端和第二壓桿端；固定于邊緣區域的活塞裝置，活塞裝置與第二壓桿端可活動連接，所述活塞裝置用于通過控制第一壓桿端以活塞裝置和第二壓桿端的連接處為中心進行轉動而調節第一壓桿端至基底的距離，以使第一壓桿端朝向核心區域和遠離核心區域運動；將靶材組件置于核心區域上，且靶材組件和自動壓板夾位于基底的同一側；將靶材組件置于核心區域上后，采用活塞裝置控制第一壓桿端朝向核心區域運動并施壓于靶材組件。

可選的，所述活塞裝置包括外腔體和活塞結構；所述外腔體具有相對的第一外腔板和第二外腔板、以及位于第一外腔板和第二外腔板之間的外腔壁板，第一外腔板和邊緣區域接觸；所述活塞結構貫穿第二外腔板，活塞結構具有相對的第一塞端和第二塞端，第一塞端位于外腔體中，第一塞端的側壁與外腔壁板接觸，第一塞端和第一外腔板之間具有充氣槽，第二塞端位于外腔體的外部。

可選的，所述活塞裝置還包括第一連接桿，所述第一連接桿具有相對的第一連接端和第二連接端，第一連接端和第二塞端固定，第二連接端和第二壓桿端可活動連接。

可選的，所述活塞裝置還包括位于外腔體內部的內腔體，所述內腔體具有相對的第一內腔板和第二內腔板、以及位于第一內腔板和第二內腔板之間的內腔壁板，第一內腔板和第一外腔板相對，第二內腔板和第二外腔板相對；所述活塞結構包括第一活塞和第二活塞，第一活塞貫穿第一內腔板，第二活塞貫穿第二內腔板和第二外腔板；第一活塞具有相對的第一塞端和第三塞端，第一塞端位于外腔體中且位于內腔體外，第三塞端位于內腔體中，第三塞端的側壁與內腔體接觸；第二活塞具有相對的第二塞端和第四塞端，第四塞端位于內腔體中，第四塞端的側壁與內腔體接觸，第四塞端和第三塞端之間具有緩沖槽。

可選的，所述壓桿還包括位于第一壓桿端和第二壓桿端之間的中間壓桿部；所述活塞裝置還包括第二連接桿和支撐桿，在自邊緣區域至核心區域的方向上，第二連接桿到核心區域之間的距離小于第二塞端到核心區域之間的距離；所述第二連接桿具有相對的第三連接端和第四連接端，第三連接端與第二外腔板固定；所述支撐桿具有相對的第一支撐端和第二支撐端，第一支撐端和第四連接端可活動連接，第二支撐端和中間壓桿部可活動連接。

可選的，所述夾具系統還包括氣泵裝置，所述氣泵裝置包括氣泵和導氣管，導氣管具有相對的第一導氣端和第二導氣端，第一導氣端和氣泵連接，第二導氣端與外腔體連接且與充氣槽連通。